• 产品名称: 五靶头等离子射频磁控溅射仪--VTC-5RF(针对于MGI薄膜研究)
  • 产品编号: 2-1-0-08
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
  • 产品型号: VTC-5RF

下载附件:

   VTC-5RF是一款5靶头的等离子射频磁控溅射仪,针对于高通量MGI(材料基因组计划)薄膜的研究。特别适合用于探索固态电解质材料,通过5种元素,按16种不同配比组合。

 

     免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

 

技术参数 

设备名称

5靶头等离子射频磁控溅射仪--VTC-5RF

 

 

 

 

 

 

 

主要特点

 

l多种溅射靶头及电源可选,自由组合,具体请致电我公司销售部。

 

l根据所使用的电源(DC或RF),可以沉积金属或非金属材料。

 

l一个旋转开关可以依次激活溅射头,可在真空或等离子体环境中自动切换,不影响真空度。

 

l可以安装五种不同材料的靶材,每个靶头可单独设置溅射时间功率等参数,用于生长不同成分的薄膜。

 

l可选购多个射频电源,同一时间溅射多个靶材。

 

l可选配设备控制软件,用电脑控制溅射的所有参数。

 

 

 

 

 

溅射腔体

 

l真空腔体采用304不锈钢制作

 

l腔体内部尺寸:  470mm L×445mm D×522mm H  (105 L)

 

l铰链式腔门,直径为Φ380mm,上面安装有Φ150mm的玻璃窗口

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

溅射头&样品台

 

l5个1英寸的磁控溅射头,带有水冷夹层(图一)

 

l溅射腔体内安装有电动挡板

 

l溅射距离: 50–80 mm

 

l溅射角度: 0–25°(可调)

 

l实验时,需要将靶材和靶材的垫片用导电银浆粘合粘合,(可在本公司购买导电银浆)

 

l可以单独订购RF连接线作为备用(图二)

 

l设备需要一台水冷机,用于靶头冷却(图三)

 

l原理图请参考(图四)

    
     图一        图二        图三
        图四

 

 

 

 

 

 

样品台

 

l直径为150mm的样品台,上面覆盖一旋转台,带有10mm的孔洞,每次露出一个样品接收溅射成膜。

 

l样品台尺寸:Φ150mm,可通过程序控制来旋转,可制作16种不同组分的薄膜

 

l样品台可以加热,最高温度可达600℃(根据配置不同可能会有变动,具体请咨询销售部)

 

 

 

 

 

 

 

真空系统
 

 

l安装有KF40真空接口

 

l真空度:4.0e-5Torr(分子泵)参考值,具体请点击

 

l可在本公司选购各种真空泵

 

 

 

 

进气

 

l设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶

 

l设备前面板上装有一气流调节旋钮,方便调节气流

 

 

 

 

 

靶材

 

l所要求靶材尺寸:直径为25mm,最大厚度3mm

 

l可在本公司选购各种靶材

 

 

 

 

 

薄膜测厚仪(可选)

 

可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上

   

 

净重

60Kg(不包括泵)

质量认证

CE认证

 

 

 

质保

 

一年保修,终身技术支持。


特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

点击查看售后服务承诺书。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

使用提示

 

 

l此设备为DIY设备,参数变化较大购买前请务必电话仔细沟通

 

l为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N)

 

l在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

 

l要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面

 

l超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分。

 

l等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物。

 

l制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力。

               
  超声波清洗机        等离子清洗机           蒸镀仪           手套箱  

 

 

 

 

警告

 

l注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。

 

l气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用

 

l溅射头连接到高电压。为了安全操作者必须关闭设备前装样和更换靶

 

 

 

免责声明

 

本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

 

 

 

 

 

1

 

 

设备产品


加热炉系列
工业炉系列

 

晶体产品


科晶新晶体
A-Z系列

 

走进科晶


公司简介
企业文化

 

新闻中心


公司新闻
最新公告

 

全球代理


营销网络
全球代理
  

 

专业支持


科晶实验室
专业支持

 

联系我们


联系我们
在线留言

 

欢迎关注公众号

 

欢迎查看诚信档案

 
 

阿里巴巴集团  |  阿里巴巴  |  淘宝网  |  天猫  |  百度一下

 合肥科晶材料技术有限公司 版权所有  皖ICP备05009081号