• 产品名称: 加热型紫外臭氧清洗机--PCE-22
  • 产品编号: PCE-22
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

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   PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶,改善表面润湿性,清洗SEM &TEM,紫外对聚合物改性等。
   紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

 

技术参数

电源

AC 208~240V,单相 50/60Hz

紫外灯

  • 可发出双波长的水银灯
  • 功率:55W
  • 发出光的波长:254 nm 和 185 nm 
  • 使用寿命:2500 小时(可在本公司购买紫外灯来更换)
  • 照射区域:200 x 200 mm

腔体&样品台

  • 不锈钢壳体
  • 抽屉式样品台,以便放样取样
  • 样品台面积310 mm x 320 mm
  • 臭氧通风装置安装在腔体上
  • 样品台与紫外灯的距离:20mm -40mm(可调)
  • 样品台可以加热,最高温度可达150℃
  • 可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃
  • 设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时

排气口

  • 直径为80mm的排气口安装在仪器后端
  • 请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外
  • 仪器中不包含橡胶管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
 

净重

28kg

质保期

一年质保期,终生维护(不包含紫外灯)

应用

  • 去除分子级别的污染物
  • 紫外光固化粘合剂
  • 紫外光催化
  • 氧化PDMS
  • 表面消毒
  • 刻蚀
  • 清洗MEMS 器件
  • 清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

 

 

 

 

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