• 产品名称: 1200℃小型单温区大口径开启式管式炉--OTF-1200X-5S
  • 产品编号: 1-1-29-0
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
  • 产品型号: OTF-1200X-5S

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    OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其最高工作温度可以达到1200℃。炉管Φ130mm(或100mm)的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。

 

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技术参数

名称

1200℃小型单温区大口径开启式管式炉--OTF-1200X-5S

 

 

 

 

 

主要参数

 

·最高工作温度:1200℃(<0.5小时)

 

·连续工作温度1150

 

·建议加热速率:≦10℃/min

 

·功率:3KW

 

·电压:AC 220V 50Hz

 

 

 

 

炉体结构

 

 

·双层壳体结构

 

·采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率,保证温度均匀性

 

·此款管式炉也可做为立式炉使用(点击图片查看详细资料)

  

 

 

加热区

 

·加热区长度:300mm

注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

 

 

 

温控系统

 

·采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序

 

·带有超温和断偶保护

 

·可选购MTS02-B控温模块,可用电脑设置和显示温度程序

 

 

 

欧陆仪表(可选)

 

·选购欧陆型温控仪表,控温精确度可以提升到±0.1℃

 

·具体详情请致电公司销售。

 

加热元件

掺钼铁铬铝合金

 

 

 

炉管

 

·石英管口径可选:130mm或100mm

 

·配有2个氧化铝管堵,使用设备时应放在炉管两端,保证恒温区和法兰密封性

 

·可选购石英管堵,提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空

     

 

 

 

 

真空密封法兰

 

 

  

 

 

·配有一对不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封

 

·右端法兰为KF25接口,用于连接真空泵

 

·左端法兰上安装有机械压力表,接口为1/4英寸卡套接头,用于连接气瓶

 

·真空度:10-2torr (采用机械泵)

 

 

·可选:5英寸的水冷铰链法兰,并带有支撑架

 

·水冷法兰通入冷却水后,设备最高温度可以达到1100℃(<1小时)

    

 

 

 

 

 

 

 

 

真空泵连接

&可选

 

·您可能需要在真空端部安装一个真空阀

 

·您可以订购带真空泵和温度校准套件的炉子

 

     

 

  

 

 

 

 

真空压力表

 

·安装有一机械压力表,测量范围为-0.1~0.15MPa

 

·可选购数显防腐真空计当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换,测量范围为3.8x10-5 -1125 Torr

  

 

 

 

 

 

铠装热电偶(可选)

 

·可选购铠装K型热电偶,通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部,测量样品的实际温度

 

·可选购一个法兰支撑架,防止炉管转动

     

    

 

 

外形尺寸

 

·炉盖关闭时:960mm(L)×500mm(W)×450mm(H)

 

·炉盖打开时:960mm(L)×660mm(W)×710mm(H)

 

·控制盒尺寸:200mm(L)×300mm(W)×360mm(H)

 

净重

48 Kg

 

 

 

 

 

认证

 

·所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

 

 

 

 

 

质保期

 

一年保修,终身技术支持。

 

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

点击查看售后服务承诺书。

 

 

 

 

 

 

 

 

应用注意事项

 

·炉管内气压不可高于0.02MPa

 

·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

 

·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

 

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击并同时保护炉内温场。

 

·石英管的长时间使用温度<1100℃

 

·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

 

 

 

免责声明

 

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