• 产品名称: 小型直流磁控等离子溅射仪--VTC-16-D
  • 产品编号: VTC-16-D
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

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    VTC-16-D是一款小型直流磁控等离子溅射镀膜仪,其靶头尺寸为2英寸,并且样品台的高度可以调节。此款镀膜仪设计主要是制作一些金属薄膜,最大制膜面积为4英寸。


技术参数

 

 

电源


  • 220VAC50/60Hz

  • 功率200W

 

 

输出


  • 500 VDC


  • 最大电流:50 mA

 

溅射腔体

采用石英腔体,尺寸:165 mm OD. x 152 mm ID x 145 mm H

 

 

 

 

 

 

 

 

 

溅射头&样品台


  • 溅射头可安装靶材直径为2英寸


  • 仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台,其高度可以调节


  • 可选购加热型样品台,其最高加热温度为500℃


  • 安装有一可手动操作的溅射挡板


  • 样品台与溅射头之间可调节距离为60-100mm


  • 最大可制膜的直径为:4英寸(点击图片查看详细资料)
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真空系统(标配)
 


  • 安装有KF25真空接口


  • 此系统运行需要Ar气,并且气瓶上安装有减压阀(设备中不包含)


  • < 1.0E-2 Torr (采用机械泵,可溅射 Au, Ag, Pt, Cu, Mo靶材)


  • < 1.0E-5 Torr(采用涡旋分子泵,可溅射Al, Mg, Li, Cr, Ti, Zn 靶材)


  • 可在本公司选购各种真空泵

 

 

 

靶材

  • 靶材尺寸要求:Φ50mmx (0.1 - 3) mm(厚度)
  • 此款设备适合溅射Au, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg等各种金属
  • 可在本公司选购各种靶材

 

 

 

 

薄膜测厚仪(可选)


  • 可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上
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产品外型尺寸

  • L460 mm × W 330 mm × H 520 mm

 

 

净重

20 kg

质量认证

CE认证

质保

一年质保期,终生维护

 

 

 

 

 

使用注意事项及溅射各种靶材的参数


  • 注意:溅射靶头与高压电源连接时,操作者必须戴上绝缘手套

 

  • 在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

 

  • 有时为了达到理想的薄膜厚度,需要多次溅射镀膜

 

  • 对于溅射各种金属靶材,需要摸索最理想的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数(仅供参考)

靶材种类

真空度(Pa)

溅射电流(mA)

时间(s)

溅射次数

Au

31-33

28-30

100

1

Ag

31

28

100

1

Fe

20

20

100

>10

Ni

25

25

100

>10

 

 

 

 

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