• 产品名称: 小型直流磁控等离子溅射仪--VTC-16-D
  • 产品编号: 2-1-0-02
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
  • 产品型号: VTC-16-D

下载附件:

    VTC-16-D是一款小型直流磁控等离子溅射镀膜仪,其靶头尺寸为2英寸,并且样品台的高度可以调节。此款镀膜仪设计主要是制作一些金属薄膜,最大制膜面积为4英寸。

 

       免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

    

     配件说明


技术参数

设备名称

小型直流磁控溅射仪-VTC-16-D

 

 

 

特点

 

l特别为SEM样品镀导电性薄膜设计

 

l体积小巧,操作简单,容易上手。

 

l拥有小型磁控靶头,可以镀金银铂等金属。

 

 

 

 

 

 

主要参数

 

输入电源:220V AC 50/60Hz

  

功率200W

 

输出电压:500 VDC

    

溅射电流:0-50 mA可调

 

溅射时间:0-120S可调

 

 

 

溅射腔体

 

l采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H

 

l密封:采用不锈钢平法兰的O形密封圈

 

 

 

 

 

 

 

 

溅射头&样品台

 

l溅射头可安装靶材直径为2英寸,厚度0.1 - 2.5mm

 

l溅射时间1-120S可调

 

l仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台,其与溅射头之间距离30-80mm可调。

 

l可选购加热型样品台,其最高加热温度为500℃

 

l安装有一可手动操作的溅射挡板,可进行预溅射。

 

l最大可制膜的直径为:4英寸仅供参考,详情请点击

    

 

 

 

 

 

 

 

 

 

真空系统
 

 

l安装有KF25真空接口

 

l数字真空压力表(Pa)

 

l此系统可通入气体运行

 

l< 1.0E-2 Torr (采用机械泵)(仅供参考,详情请点击

 

l< 1.0E-5 Torr(采用涡旋分子泵)(仅供参考,详情请点击

 

l可在本公司选购各种真空泵

 

 

 

 

进气

 

l设备上配1/4英寸进气口,方便连接气瓶

 

l设备前面板上装有一气流调节旋钮,方便调节气流

 

 

 

 

靶材

 

l靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)

 

l此设备标配为铜靶

 

l可在本公司选购各种靶材

 

 

 

 

薄膜测厚仪(可选)

 

可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上

   

 

 

 

 

 

产品外型尺寸

 

L460 mm × W 330 mm × H 540 mm

净重20 kg(不包括泵)

 

质量认证

CE认证

 

 

 

质保

 

一年保修,终身技术支持。


特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


点击查看售后服务承诺书。

 

 

 

 

各种靶材的参数(仅供参考)

 

对于溅射各种金属靶材,需要摸索最理想的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数,欢迎您带料来科晶实验室摸索工艺仅供参考,详情请点击

 

 靶材种类

  真空度(Pa)

  溅射电流(mA)

  时间 (s)

 溅射次数

   Au

   31-33

    28-30

   100

    1

   Ag

    31

      28

   100

    1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

使用提示

 

 

l有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜

 

l在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

 

l要达到薄底良好结合,请在溅射前清洁基材表面

 

l超声波清洗(详细参数点击下面图片(1)丙酮超声,(2)异丙醇超声-去除油脂,(3氮气干燥,(4真空烘箱除去水分

 

l等离子清洗(详细参数点击下面图片:可表面粗糙化,激活表面化学键,可祛除额外的污染

 

l制造一个薄的缓冲层(5纳米左右Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力。

 

l请使用>5N纯度氩气等离子体溅射

 

l溅射镀膜机可放入ArN2气体手套箱中溅射

 

l由于能量低,该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al,Mg,Zn,Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节

                  
   超声波清洗机        等离子清洗机     大功率磁控溅射仪          蒸发镀膜仪  

 

 

 

 

警告

 

l注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。

 

l气瓶上应安装减压阀(不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用

 

l溅射头连接到高电压。为了安全操作者必须关闭设备前装样和更换靶头。

 

 

 

免责声明

 

本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

 

 

 

 

 

1

 

 

设备产品


加热炉系列
工业炉系列

 

晶体产品


科晶新晶体
A-Z系列

 

走进科晶


公司简介
企业文化

 

新闻中心


公司新闻
最新公告

 

全球代理


营销网络
全球代理
  

 

专业支持


科晶实验室
专业支持

 

联系我们


联系我们
在线留言

 

欢迎关注公众号

 

欢迎查看诚信档案

 
 

阿里巴巴集团  |  阿里巴巴  |  淘宝网  |  天猫  |  百度一下

 合肥科晶材料技术有限公司 版权所有  皖ICP备05009081号