• 产品名称: 声表级石英(SiO2)晶片
  • 产品编号: gd13
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产品名称:

声表级石英(SiO2)晶片

产品简介:

 

技术参数:

轴向:

36°AT cut/42.8°ST cut  (+/-0.2°)

直径:

76.2mm(+/-0.3mm100mm(+/-0.3mm),

基准面:

22mm(+/-2mm22mm(+/-2mm

厚度:

500um(+/-10um350um(+/-10um

传播表面:

"+"面 Ra≤8Å

晶片背面:

0.2um≤Ra≤0.7um

TTV:

≤10um

LTV:

≤2.0um within an area of 5x5mm2

PLTV:

≥95% 3mm from excluded

BOW:

-25um≤Bow≤+25um

籽晶区域:

to be within the center 3mm of the water

Q值:

≥2million

边缘倒角;

edge rounding

 

产品规格:

常规尺寸:dia3"x0.5mm;dia4"x0.5mm;

抛光情况:双抛;单抛;

表面粗糙度Ra:<5A

注:可按照客户要求加工尺寸及方向。

标准包装:

1000级超净室100级超净袋

 

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