• 产品名称: 双温区红外加热快速热处理炉--OTF-1200X-IR-IISL(炉管直径4英寸,可在真空环境下移动样品)
  • 产品编号: OTF-1200X-IR-IISL
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

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     OTF-1200X-IR-IISL是一款双温区红外加热快速热处理炉,其炉管直径为4英寸,样品台滑轨周围嵌有可伸缩波纹管,允许样品在真空或气氛保护环境下移动。此款设备可使样品最大升温速率达到50℃/S,最大冷却速率达到10℃/S此款设备不仅可对样品进行快速热处理,还可采用HPCVD方法来生长二维晶体(一个加热区用来盛放固体蒸发原料,另一个加热区用于沉积样品)。
 

技术参数

炉体结构

  • 双层壳体结构,并带有风冷系统,使壳体表面温度低于60℃
  • 采用短波红外灯管对样品加热,可达到快速加热的效果
  • 两个加热区,每个加热区长度为195mm,总加热区长度为390mm
  • 样品台滑轨周围嵌有可伸缩波纹管,允许样品在真空或气氛保护环境下移动,以达到快速加热和快速降温的效果

电压

  • AC380V,50/60Hz
  • 最大功率为24KW

加热元件

  • 16根卤素灯管(直径10mm,长度390mm)
  • 标准使用寿命2000小时(要根据加热速率)

最高工作温度

  • 1100℃(<30 mins)
  • 1000℃(可连续工作)

控温精度

+/ - 1℃

最大加热速率

50℃/min

最大冷却速率

10℃/min,冷却温度范围1000~200℃

炉管

  • 高纯石英管
  • 尺寸:Φ110(OD)×Φ106(ID)×740(L)mm

滑轨

  • 材料碳钢表面镀Cr
  • 最大滑动行程:400mm

热电偶

  • 两个K型铠装热偶
  • 规格:1/4" Dia x 24" L

温控系统


 

  • 两个温区分别由两个独立的温控系统控制
  • 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序
  • 设置有超温和断偶保护
  • 控温精度为±1℃
  • 设备面板上带有RS485通讯接口
  • 可选购PC控制模块,可采用电脑来设置和显示温度曲线

真空法兰

  • 卡箍式快速连接法兰安装在炉管两端,以方便拆卸和安装
  • 一个直径1/4"的铠装K型热偶通过左端法兰伸入到炉管内部的样品台下端
  • 右端法兰上带有KF25接口,以便于连接真空泵
  • 左端法兰上安装有滑轨,周围嵌有可伸缩波纹管,允许样品在真空或气氛保护环境下移动

真空度

  • 10^-2 torr(采用机械泵)
  • 10^-4 torr (采用分子泵)
  • 可在本公司选购各种真空泵

尺寸

  • 1000mm×540mm×800mm

质保

一年质保期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)

质量认证

使用注意事项

  • 炉管采用石英管,其只能在常压或低压环境使用,炉管内部压力需<0.02MPa(相对气压)
  • 若要向炉管内通入气体,气瓶上必须安装双极减压阀(可在本公司选购)
  • 进气流量必须小于200SCCM(或200ml/min)
  • 若炉管内部处于真空环境,其设备使用温度不可高于1000℃

 

 

 

 

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