• 产品名称: 薄膜测厚/层积速率显示仪--TM106-LD
  • 产品编号: TM106-LD
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  • 产品型号:

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    TM106-LD薄膜测厚仪/层积速率显示仪的工作原理,是依据所测样品薄膜厚度的改变而导致石英晶片振荡频率改变。将所蒸发材料的密度输入到测试系统中,便可测量层积薄膜的厚度。此款测厚仪的分辨率为0.037 Å。

 

技术参数

功率

400 mA, 5V (dc)

测试频率范围

6.0 - 5.0 MHz

频率分辨率

+/- 0.03 Hz @ 6 MHz

测量区间

0.10s

参考频率稳定性

+/- 2 ppm

厚度和速率分辨率

+/- 0.037Å  基频=6MHz

厚度显示分辨率

1 Å  

尺寸

11.4 x 7.6 x 2.5 cm

重量

57g

操作系统

Windows 8, Windows 7, Windows Vista, Windows XP, 或Windows 2000

晶体探针架

  • 探针长度:120mm
  • 探针直径:10mm
  • 安装有水冷夹层,保持探针的温度低于150℃

软件

包括STM-2软件
 

可选石英晶体

  • 含金石英晶体:用于测试金属薄膜厚度
  • 合金石英晶体:用于测量非金属薄膜厚度

安装

质保期

一年质保期,终身维护

应用

  • 选择合适的石英振荡晶体,分为含金石英晶体和合金石英晶体
  • 含金石英晶体,适用于大多种材料测试
  • 合金石英晶体建议用于测试光学薄膜,介电薄膜或半导体膜等

 

 

 

 

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