• 产品名称: 双炉体滑动PECVD系统&循环手套箱--OTF-1200X-PESDFG-50
  • 产品编号: OTF-1200X-PESDFG--50
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    OTF-1200X-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统,并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接,允许客户用CVD方法把样品制作好以后,直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式,可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。

 

 技术参数

炉体结构(点击图片查看详细资料)

  • 两个炉体在一个滑轨上面,和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果
  • 连续工作温度:1100
  • 两个炉体都可以设置30段升降温程序

等离子体射频电源

  • 输出频率: 13.56 MHz ±0.005% 
  • 最大射频功率: 500W 
  • 匹配自动匹配
  • 噪音: <50 dB. 
  • 冷却空气冷却
  • 输入电源: 208-240VAC, 单相, 50/60Hz

真空系统

  • 采用VRD-16的双旋真空泵极限真空10E-3 Torr 
  • KFD25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连.
  • 管内真空可达10E-2 Torr 

质量流量计混气系统

 

 

  • 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) :数字显示,自动控制.
  • MFC1范围:  0~100 sccm 
  • MFC23:   0~200 sccm  
  • MFC4范围:  0~500 sccm 
  • 一个混气罐,底部装有泄废液口
  • 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体.
  • 进气口: 41/4NPS. 
  • 出气口: 4 1/4NPS. 
  • 采用PLC控制流量计,通过触摸屏进行控制
  • 可选购气液混合装置,用于CVD系统
  •   

 

炉管&密封法兰

 

  • 高纯石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L
  • 配有一套不锈钢密封法兰,并且上面安装有真空计
  •  

 

防腐型真空计

  • 输入电源   24V1A  DC(配有一电压转换器)
  • 测量范围   3.8x10-5 -1125 Torr.
  • 数据显示   数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr
  • 接头 KF16 接头
  • 产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

循环手套箱

 

  • 手套箱尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)
  • 带有除水系统:保持水含量< 2 ppm
  • 一真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管相连接
  •   

 

质保期

   一年质保期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)

质量认证

 

 

 

 

 

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