• 产品名称: 小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL
  • 产品编号: 2-3-09-0
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
  • 产品型号: TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

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      OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,最大升温速率为100/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
                 

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技术参数

名称

1200℃小型双炉体滑动管式炉-TCVD--OTF-1200X-S2-50SL  

 

 

 

 

 

 

炉体结构

 

·采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃参考值,详情请点击

 

·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命) 

 

·可选购石英管堵及石英坩埚,可增加炉管内洁净度及真空度(图3-4

 

·设有开门断电功能,提高实验安全性(图5-6)

 

·炉底安装一对滑轨,可用手动滑动,炉子可以滑动700mm的距离

     
            图1              图2                 图3                    图4
 
               图5                 图6

 

 

基本参数

 

热偶K型热偶        建议升温速率10℃/min   

 

温度1100℃ 1200℃1h     电源:AC220,50Hz   最大3KW

 

高纯石英管尺寸

·尺寸:50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm)

加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命)

加热区

每个加热炉加热区长度200mm

 

 

 

 

 

 

 

 

密封法兰

 

·一对SS 304真空法兰与双高温硅O形环包括在内

 

·两个针阀已分别安装在两个法兰上(图一)

 

·一个真空压力表安装在一侧法兰(图一)

 

·可选:您可以选购kf25真空口法兰(图二)

 

·您可以订购法兰支架(图三)

   
          图一            图二               图三

 

 

 

 

 

 

 

 

 

温控系统

 

·含一款808P型温度控制器

 

·PID自动控温系统

 

·智能化30段可编程控制

 

·控温精度:±1℃

 

·默认DB9 PC通信连接端口

 

·通过MET认证

 

可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据。

 

 

 

 

 

可选

 

·可选购电动滑轨(图一)

 

·可选购1-9通道混气系统(图二)

 

·100W-500W的射频等离子源,与管式炉配合可搭建起等离子增强的加热CVD系统(图三)

     
           图一            图二             图三               图四

 

 

 

 

 

 

 

温度校准(可选)

 

·定期对管式炉进行温度校准,保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括:

 

·48L(1/4OD)K型热电偶校准

 

·Omega温度校准器

 

·热电偶补偿线

 

·你可以考虑分子泵,真空度可达10-5Torr

 

 

 

滑轨

 

·镀铬钢制成的双滑轨

 

·长度:1600mm

 

·滑轨中包含两个固定装置,用于固定炉子的位置

 

 

 

 

 

 

 

真空系统(可选)

 

·用机械泵真空度达 50 mtorr 参考值,详情请点击

 

·用分子泵真空度可达 10E-4 torr 参考值,详情请点击

 

 

 

尺寸

 

炉体:340mm L x 330mm W x 400mm H

整体:1600mm L x 430mm W x 500mm H

 

净重

80Kg

 

 

 

 

保修期

 

一年保修,终身技术支持。


特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


点击查看售后服务承诺书。

 

 

 

 

 

 

认证

 

所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

使用注意事项

 

·炉管内气压不可高于0.02MPa

 

·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

 

·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

 

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 

·石英管的长时间使用温度<1100℃

 

·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

 

·提示:最大的加热和冷却速度是通过将炉管的一侧预热到目标温度,然后将炉子滑到另一侧来实现的。 您可以选择将样品放置在预热区域。

 

 

 

应用提示

 

·如何在MTI管炉上放置管堵和真空法兰。

 

·为了在管式炉内获得准确的温度,在使用前需要校准温度,请点击这里了解如何使用。

 

 

 

免责声明

 

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