• 产品名称: Al2O3+Si薄膜(SOS)进口料(大尺寸Silicon-on-Sapphire dia100 x 0.46 mm )
  • 产品编号: xjt88
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产品名称:

Al2O3+Si薄膜(SOS)进口料(大尺寸Silicon-on-Sapphire)

常规尺寸:

dia100;单抛

技术参数:

Si晶向:

<100>

Si掺杂类型:

本征;不掺杂

Si厚度:

0.6 um +/- 0.05 um

Si电阻率:

> 100 ohm.cm

Micro-particle

density (for particles > 2 um)

< 2/cm^2

Al2O3基片:

R plane with single flat

Al2O3边取:

One flat 32.5mm +/-2.5mm, at 45+/- 1 deg CCW from <C> on <R>

Al2O3尺寸:

dia100 x 0.46 mm 

TTV:

< 15 um

Bow:

< 20 um

Warp:

< 20 um

Flatness TIR)

< 12 um

抛光情况:

单抛(正面外延抛光,背面光学级抛光,背面激光有激光标记)

 

标准包装:

1000级超净室100级超净袋真空包装

 

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