• 产品名称: 小型PECVD管式炉系统--OTF-1200X-50S-PE
  • 产品编号: OTF-1200X-50S-PE
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

下载附件:

   OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等离子体气相沉积)管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD  系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。

特征

  • 与普通CVD相比可以在低温环境下进行气相沉积实验
  • 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制
  • 通过工艺调节来控制化学计量
  • 能够广泛地用于各种材料沉积,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) .

技术参数

开启式管式炉

等离子体射频电源

  • 输出功率: 5 -500W可调
  • 稳定性为+/-1%
  • 射频电源频13.56 MHZ, 稳定性±0.005% 
  • 最大反向功率:200W max
  • 射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半岛体阴极
  • 噪声<50 dB.
  • 冷却方式:空气冷却
  • 输入电源:208-240VAC, 50/60Hz  

真空法兰和接头

  • 真空法兰采用304不锈钢制作
  • 左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀。
  • 右端法兰设计为KF25接口,上面配有泄气阀,挡板阀和两个KF25卡箍
  • 仪器中所配的数字真空计,可以不用因使用气体的不同而进行校正,同时还具有防腐功能
      

真空泵

  • AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
  • 2L/s
  • 与本公司管式炉配套使用,可使其真空度达到10-2 torr
  • 进气端带有储气球(防止回油),出气端安装有油雾过滤器(防止油雾扩散到空气中,保护环境和人体健康)
     

产品尺寸和重量

  • 外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)
  • 净重: 160 lbs

可选配置

请点击查看下面的混气及气液混合系统

  • 防腐型小型三路浮子混气系统
  • 精密气液混合系统
  • 三路质子混气系统
      

质保期

一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)

开门断电 为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
   

质量认证

CE Certified

 

 

 

 

1

 

 

设备产品


加热炉系列
工业炉系列

 

晶体产品


科晶新晶体
A-Z系列

 

走进科晶


公司简介
企业文化

 

新闻中心


公司新闻
最新公告

 

全球代理


营销网络
全球代理
  

 

专业支持


科晶实验室
专业支持

 

联系我们


联系我们
在线留言

 

欢迎关注公众号

 

欢迎查看诚信档案

 
 

阿里巴巴集团  |  阿里巴巴  |  淘宝网  |  天猫  |  百度一下

 合肥科晶材料技术有限公司 版权所有  皖ICP备05009081号