• 产品名称: 小型高能直流磁控溅射仪--VTC-16-SM
  • 产品编号: 2-1-0-03
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
  • 产品型号: VTC-16-SM

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    VTC-16-SM是一款桌面式等离子磁控溅射镀膜仪,包含一个2英寸水冷靶头(另有1英寸靶头可选)和可旋转样品台,外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵。

 

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用直流磁控溅射仪可获得单相Al

      

技术参数

设备名称

小型高能直流磁控溅射仪-VTC-16-SM

 

 

 

视频

                展示视频

 

 

 

 

主要参数

 

输入电源:220VAC 50/60Hz

 

溅射电流:0-150 mA可调

 

功率:<2KW

 

输出电压:最大1600VDC

 

 

 

溅射腔体

 

l采用石英腔体,尺寸:166mm OD x 150mm ID x 290mm H

 

l密封:采用O形密封圈密封

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

溅射头&样品台

 

l2英寸带水冷的磁控溅射头(注意:水冷机不是标配)另有1英寸靶头可选(图一)

 

l一个直径50mm不锈钢样品台,样品台可旋转,旋转速率0-5 RPM (图五)

 

l安装有一可手动操作的溅射挡板(图二、三)

 

l样品台和靶头之间的距离可以调节,调节范围:30-80mm(图二、三)

 

l靶头支架,可以在非溅射状态放置溅射靶头(图四)

 

l最大溅射面积:4英寸参考值,详情请点击

       
          图一             图二           图三                图四              图五
   
                       实验效果

控制面板

6" PLC集成触摸屏控制面板,可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度

 

 

 

 

 

 

 

 

真空系统
 

 

l安装有KF25真空接口

 

l数字真空压力表(Pa)

 

l此系统运行需要Ar气,并且气瓶上安装有减压阀(设备中不包含)

 

l采用机械泵 <1.0E-2 Torr参考值,详情请点击

 

l采用涡旋分子泵 <1.0E-5 Torr参考值,详情请点击

 

l可在本公司选购各种真空泵

 

 

 

 

 

 

进气

 

含一个控制进气的针阀和一个放气阀

 

本设备接气需要安装减压阀(可在我公司选购减压阀)

 

 

 

 

 

靶材

 

靶材尺寸要求:Φ50mmx(0.1-2.5) mm(厚度)

 

适合溅射Au,Ag,Cu,Al,Ti,等金属(可在我公司选购)

 

 

 

 

 

 

可选配件

 

可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上(见图一)

 

可选加热样品台,最高可加热500℃(见图二、三)

 

可选浮子流量计来精确控制进气量(见图四)

     
         图一                图二               图三             图四

产品外型尺寸

 

L460 mm × W 330 mm × H 520 mm

净重:20 kg(不包含泵及水冷机)

质量认证

认证

 

 

 

质保

 

一年保修,终身技术支持


特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内


点击查看售后服务承诺书。

 

 

 

 

各种靶材的参数(仅供参考)

 

对于溅射各种金属靶材,需要摸索最理想的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数参考值,详情请点击

 

靶材种类

真空度(Pa)

溅射电流(mA)

时间(s)

溅射次数

Au

31-33

28-30

100

1

Ag

31

28

100

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

使用提示

 

 

l有时为了达到理想的薄膜厚度,需要多次溅射镀膜

 

l在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

 

l要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面

 

l超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分

 

l等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物

 

l制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力

 

l此溅射镀膜机可以放入Ar或N2气体手套箱中溅射

               
  超声波清洗机       等离子清洗机   大功率磁控溅射仪             手套箱  

 

 

 

警告

 

l注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。

 

l气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。

 

l溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶

 

 

 

免责声明

 

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