• 产品名称: 小型等离子清洗机--PCE-6V
  • 产品编号: PCE-6V
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  • 产品型号: PCE-6V

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       PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

 

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技术参数

 

 

 

 

 

 

 

 

主要特点

 

l采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。

 

l可短时间内彻底清洗掉有机污染物。

 

l清洗程度可达到分子级。

 

l可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

 

l清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。

 

l样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。

 

l广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

参数

 

l电压:AC220V  10A

 

l消耗功率:<500W(包括真空泵)

 

lRF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz

 

l腔体:Φ190mm×98mm

l石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm

 

l内腔:Φ165mm×55mm

 

l清洗电极:Φ120mm

 

l样品台:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm

 

l样品台与电极间距:15mm-50mm可调

 

l抽气管:Φ12mm

 

l极限真空度:0.1Pa

 

l工作真空度:60Pa-500Pa

 

l气路数量:2路(选装)

 

l流量控制器数量:1、2

 

l流量显示仪:2通道

 

l气路接口:Φ6mm

 

l加热样品台:Φ140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装)

 

l冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa

 

l工作环境:温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m

 

 

 

产品规格

 

l尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)

 

l重量:20kg(不含真空泵)

 

 

 

可选配置

 

l加热样品台

 

l流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2个通道)

 

 

 

免责声明

 

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