• 产品名称: 6英寸小型等离子清洗机--PCE-6
  • 产品编号: 4-3-1-02-0
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
  • 产品型号: PCE-6

下载附件:

        PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz1%),输出功率7.2W10.2W29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

 

   免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

 

 

技术参数

名称

6英寸等离子清洗机--PCE-6

 

 

 

 

主要特点

 

 

·拥有6英寸清洗腔室,可清洗约5英寸直径的基片

 

·通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间

 

·时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上

 

·设有一个三通阀,可大体控制进气流量

 

 

 

 

 

 

主要参数

 

·输出功率:7.2W、10.2W、29.6W

 

·总功率:<600W

 

·射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节

 

·电源:AC220V  50Hz

 

 

 

 

 

 

等离子腔体

 

·高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗

 

·带观察窗的铰链式门,便于样品加载和观察

 

 

 

 

 

控制面板

·控制功能:清洁时间,射频功率,真空泵。

 

 

 

 

真空泵(标配)

·真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵

 

 

 

 

等离子清洗机及刻蚀的方法

 

 

 

惰性气体

 

·通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)

 

·等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体

 

 

 

 

 

 

可选配件

 

·如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PCE-6等离子清洗机可以2路混气系统组合

 

·您可以订购石英晶片载体来盛放清洁的基

 

 

外形尺寸

400mm×300mm×300mm

净重

10.2kg

认证

CE认证

 

 

 

质保期

 

一年保修,终身技术支持。

 

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

点击查看售后服务承诺书。

 

使用注意事项

正压会损坏等离子石英室。

 

 

免责声明

 

本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

 

 

 

 

 

1

 

 

设备产品


加热炉系列
工业炉系列

 

晶体产品


科晶新晶体
A-Z系列

 

走进科晶


公司简介
企业文化

 

新闻中心


公司新闻
最新公告

 

全球代理


营销网络
全球代理
  

 

专业支持


科晶实验室
专业支持

 

联系我们


联系我们
在线留言

 

欢迎关注公众号

 

欢迎查看诚信档案

 
 

阿里巴巴集团  |  阿里巴巴  |  淘宝网  |  天猫  |  百度一下

 合肥科晶材料技术有限公司 版权所有  皖ICP备05009081号