• 产品名称: 小型等离子清洗机--PCE-6
  • 产品编号: PCE-6
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

下载附件:

        PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz1%),输出功率7.2W10.2W29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

 

 

技术参数

主要特点

  • 通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
  • 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
  • 设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体。
  • 选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

参数

  • 电源:AC220V  50/60Hz
  • 输出功率:7.2W10.2W29.6W
  • 真空泵功率:<500W
  • 总功率:<600W 
  • 射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节
  • 等离子腔体:高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗
  • 真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵
  • 极限真空度:50mtorr
  • 通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2ArH2O2Air和混合气体等(根据材料性质选定)

等离子清洗机及刻蚀的方法

(点击图片查看详细资料)

产品规格

  • 尺寸:400mm×300mm×300mm
  • 重量:10.2kg

可选配件

  • 2″-6″石英舟(盛放基片)
  • 2-4通道质子或浮子混气系统

质保期

一年质保期,终身维护

 

 

 

 

1

 

 

设备产品


加热炉系列
工业炉系列

 

晶体产品


科晶新晶体
A-Z系列

 

走进科晶


公司简介
企业文化

 

新闻中心


公司新闻
最新公告

 

全球代理


营销网络
全球代理
  

 

专业支持


科晶实验室
专业支持

 

联系我们


联系我们
在线留言

 

欢迎关注公众号

 

欢迎查看诚信档案

 
 

阿里巴巴集团  |  阿里巴巴  |  淘宝网  |  天猫  |  百度一下

 合肥科晶材料技术有限公司 版权所有  皖ICP备05009081号