• 产品名称: 小型滑动PECVD管式炉系统--OTF-1200X-50S-PE-SL
  • 产品编号: OTF-1200X-50S-PE-SL
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
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   OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition),滑动式开启式管式炉系统。此套设备带有300W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和机械泵组成。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD  系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。


技术参数

名称    小型滑动PECVD管式炉系统

 

视频

  

  

                宣传视频

特点

  • 与普通CVD相比可以在低温环境下进行气相沉积实验 
  • 可以通过炉体滑动达到快速升温和降温
  • 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制 
  • 通过工艺调节来控制化学计量 
  • 可以沉积各种材料,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等.

开启式管式炉

 

等离子体射频电源

  • 输出功率:          5 -300W 可调 稳定性± 1% 
  • 射频电源频率:          13.56 MHz 稳定性±0.005% 
  • 最大反向功率:      200W 
  • 匹配:  自动      
  • 射频电源电子输出端口:        50 Ω, N型半导体, 阴极
  • 噪音:                      <50 dB. 
  • 冷却:                风冷
  • 电源 :                208-240VAC, 50/60Hz


真空法兰和接头

  • 真空法兰采用 304不锈钢制作. 
  • 左端法兰上安装有 KF-25真空接口,2KF-25快速卸装卡箍,KF-25直角阀,KF-25真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀



真空泵及水冷机

 

  • AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
  • 2 Liter /S 
  • 出气端安装有油雾过滤器(防止油雾扩散到空气中,保护环境和人体健康)
  • 真空度:  10-2 torr
  • 可选水冷机
      

 


产品尺寸和重量

  • 外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H)
  • 净重: 160kg

质保期

      一年质保期,终身维护,(相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件)

质量认证

   CE Certified

使用注意事项
  • 工作时需连接水冷设备
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

 

 

 

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