• 产品名称: Si+Al薄膜
  • 产品编号: Si上镀Al薄膜
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产品名称:

Si上镀Al薄膜(Aluminum Film on Silicon Wafer)

 

常规尺寸:

dia 4" +/- 0.5 mm  x 0.525 +/- 0.025 mm 

技术参数:

Al薄膜厚度:

3um

薄膜电阻率:

2.65  micro ohm-cm

薄膜结晶:

Weak (111) - oriented poly-crystals

薄膜表面粗糙度:

4.87 nm and  < 10 nm

Si导电类型:

N 

Si电阻率:

<0.005 ohm-cm 1-10ohm-cm 

Si晶向:

<100>±0.5°

抛光情况:

单抛

 

标准包装:

1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装

 

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