• 产品名称: 5英寸近距离蒸发镀膜炉(CSS)OTF-1200X-RTP-II-5
  • 产品编号: 2-3-07-0
  • 产品提示: 产品通过国家发明专利,专利号为:ZL 2013 1 0185033.3
  • 产品型号:

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    OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速热处理炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门实际针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其镀膜面积可达到5"x5"。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),最大升温速率为20ºC/s 。采用PID方式进行温度调节,可设置30段升降温程序。仪器面板上安装有RS485接口,可配用控制软件将升温程序和温度曲线都导入到电脑中。对于探索新一代的薄膜太阳能电池,如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池,这是一款理想的实验工具

 

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 技术参数

 

 

 

炉体结构和真空腔体

 

 

 

 

 

真空法兰

(点击图片查看详细资料)

 

  • 真空法兰为316不锈钢制作
     
  • 顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口
     
  • 底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口
     
  • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,用机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr,用分子泵其腔体内真空度可达10-4torr.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

加热元件和载样台


  • 由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部
     
  • 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节,调节范围为:2-50mm
     
  • 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率,加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中,(不锈钢壳体采用316不锈钢制作)
     
  • 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作为载样台,以达到较好的加热均匀性
     
  • 底部载样台上可放入5"x5"的石墨坩埚来盛放蒸发原料
     
  • 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机(16L/m)
 

 

 

 

 

 

温控系统


  • 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区,可设置30段升降温程序
     
  • 每个温控系统都带有超温和断偶保护
     
  • PC通讯接口,软件可安装,可将控温程序和温度曲线导入到电脑中
     
  • 控温仪表操作视频
     

 

 

 

 

工作温度

 

  • 最高工作温度为:800
     
  • 两个加热区之间的最大温差为300

 

 

 

加热和冷却速率

 

  • 加热速率> 8ºC/s(每个温区单独加热)
     
  • 冷却速率> 10ºC/s (600 - 100ºC)

热电偶

两个K型热电偶,安装在顶部和底部,都与氮化铝陶瓷片相接触

工作电压

208 - 240VAC, 单相,(需要20A的空气开关)

功率

3KW

 

 

 

 

 

 

 

可选


  • 实验时需要一个真空泵,可与本公司选购真空泵

  • 采用机械泵可使腔体内的真空度达到< = 10E-2 torr
     
  • 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境,可换购无油泵
     
  • 也可选购质子流量计混气系统,将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中
  •  
  •   

 

 

 

 

 

国家专利

 

专利名称:可调短距离快速升降温蒸镀炉及其制造方法

 

专利号:ZL 2013 1 0185033.3

 

尊重创新,鄙视抄袭,侵权必究

                                              

 

                  

        

 

质保

一年质保期,终生维护(不包括密封圈、加热元件和石英管)

 

 

 

 

 

 

 

使用注意事项


  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
     
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
     
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
     
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
     
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
     
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

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