• 产品名称: 1100℃双管滑动快速加热冷却炉-OTF-1200X-4-C4LVS
  • 产品编号: 2-3-11-0
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
  • 产品型号: OTF-1200X-4-C4LVS

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      OTF-1200X-4-C4LVS双管炉是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究,通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。

 

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技术参数

名称

1100℃双管滑动快速加热冷却炉-OTF-1200X-4-C4LVS

 

 

 

视频

 
           操作视频        仪表操作视频

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

炉体结构

 

 

单温区

·一对SS304不锈钢法兰,通过用两个高温O型圈紧密密封可获得高真空

 

·炉子底部装有一对滑轨炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却

 

·双管道设计,内外管径分别为80mm、100mm,用于沉积的衬底包裹在内管外壁表面

 

·高纯氧化铝保温材料,保证了炉膛有极好的温度均匀性

 

·内炉膛表面涂有美国进口的1750℃高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

 

·炉子底部的冷却风扇加快了热量发散

 

·密封法兰系统全不锈钢制作

 

 

双温区

·高纯氧化铝保温材料,保证了炉膛有极好的温度均匀性

 

·炉子底部的冷却风扇加快了热量发散

 

·工作温度:最高1200;连续1100

 

·两段加热区分别独立控温(每个加热区长度200mm,总长400mm)

 

·两个温区设置同样的温度,恒温区可增加至250mm

 

·在两个温区中间放入管堵(隔热)则两温区温差可达300℃。

 

 

 

 

 

基本参数

单温区

双温区

功率:2.5KW(20A保险丝)

功率:4KW(50A保险丝)

电压:AC220V 50Hz 单相

工作温度:最高1100℃;1000℃(长期)

加热炉本体建议升温速度:10/min

加热区长:200mm

加热区总长:400mm;

 

石英管:内管O.D80×I.D 75×L1800 mm

 

       外管O.D100×I.D 96×L1400 mm

 

 

 

 

 

 

加热和冷却速率

 

最快的加热和冷却速度跟工作温度有关,请点击下图看出最快的加热和冷却速度随温度的变化而变化。在使用炉子之前,要校准工作温度和加热、冷却速度

click to enlarge click to enlarge

此为参考值,因实验环境不同,会有差异,具体请咨询销售部。

 

 

 

 

石英管

 

·两对真空密封法兰,含水冷套和不锈钢针阀

 

²内管:O.D80 ×I.D 75×L1800 mm

 

²外管:O.D100×I.D 96×L1400 mm

 

 

 

 

 

 

特点

 

·双石英管:外管直径100mm ,悬挂的内管直径 80. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应


·双管的真空密封法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管


·四通道质量流量计控制4路气体


·配有KF25快接和波纹管的高速机械泵

 

·炉子底部装有滑轨:炉子可以从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

真空法兰

 

利用双管炉采用CVD法以金属箔为衬底上生长的薄膜(缠绕在内收卷辊表面)

请点击相关文章:“卷对卷法制备30"石墨烯透明电极

 

·如下图所示,一对不锈钢真空法兰密封了外管道,内道和内外管道之间的空间(该空间为反应室)。

 

·将两端内管的两端打开以供气体冷却。

                                

极限真空度: 10^-2 torr (机械泵)参考值,详情请点击

                      10^-5 torr (分子泵)参考值,详情请点击

 

 

 

 

 

 

可选

 

本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8×10E-5至1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

温控系统

 

·PID自动控制

 

·可编制30段升降温控制程序

 

·内置过热报警装置无需人员看护

 

·内置超温保护和报警装置

 

·控温精度: ±1

 

·默认RS485通信端口

 

·可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

    

 

 

温控系统(可选)

 

·可选购欧陆型温控仪表,控温精确度可以提升到±0.1℃

 

·具体详情请致电我公司销售

 

 

 

 

混气系统

 

 

 

 

 

 

真空泵

 

·安装在移动架底部的机械泵,真空度达10E-3torr参考值,详情请点击

 

·真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接

 

·数字真空表安装在一端的法兰上

 

·选择可以配分子泵真空度达 10E-5torr参考值,详情请点击

 

 

 

 

 

 

水冷机(可选)

 

·法兰上的水冷主要是为了保护法兰内O形圈,以确保其在高温下的密封性。

 

·你可以直接接通自来水冷却,但考虑到经济环保我们建议你使用循环水冷机。请点击下图选购循环水冷机。

 

 

 

 

 

可选配件(改单管炉)

 

你可以将该款双管炉改为单管炉使用(Ф80mm。单管炉的真空法兰需要您额外定购。

 

·左法兰:设置有宝塔嘴式进口及针阀,Ф1/4"铠装口供客户端插入热电偶,用于温度校准

 

·右侧法兰:KF25接口,机械压力表,出气口及针阀

 
点击大图查看详情     点击选购石英坩埚

 

 

铜箔(选配)

作为基片用的25um厚的铜箔

 

 

 

外形尺寸

 

590L×380W×520H mm(炉体)

 

600L×600W×700H mm(真空泵)

 

600L×850W×700H mm(混气系统)

 

净重

136Kg

 

 

 

国家专利

 

专利名称:一种快速高温退火炉

 

专利编号:ZL-2011-2-0077168.4

 

尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

 

 

 

 

 

认证

 

·所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

警告

样品的快速升温和冷却可以通过滑移加热的炉体来实现。请在操作时穿上防护装备,如防热服和高温手套。禁止用手去触碰加热的炉管表面!

 

 

应用提示

 

·为了得到较快的加热速度,可以先将炉预热,然后滑到放置样品的位置。

 

·为了获得较快的冷却的速度,把炉子滑向另一端,同时将冷却气体通入样品所在的位置。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

使用注意事项

 

·石英炉管采用真空密封,管内可处于微正压但压力小于0.02MPa

 

·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。(请点击这里学习如何安装减压阀

 

·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。(请点击这里学习如何安装炉管和真空法兰

 

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 

·石英管的长时间使用温度<1100℃

 

·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

·滑轨上设置有一个炉体定位装置(如下图)

 

·进行化学气相沉积后,石墨烯从金属催化剂转移到另一个基片衬底,此法可被广泛应用制备二维材料。通过CVD法生长的石墨烯,表面平整度高且无残渣。

  

 

 

 

 

保修期

 

一年保修,终身技术支持。

 

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

点击查看售后服务承诺书

 

 

 

免责声明

 

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