• 产品名称: 带3路浮子混气RTP管式炉--RTP-1000-LV3C
  • 产品编号: RTP-1000-LV3C
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

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            RTP1000-LV3C 是一款 4"  RTP (快速热处理管式炉。配有三路流量计和一个机械泵(真空度达 10-3 torr )。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达  3" )退火而设计。 这款设备是采用 9KW的红外灯加热,最快升温速度是 100oC/. 30 段精确温度控制,精度是 +/-1oC.RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。

 技术参数

关于RTP 炉子

 

  • 炉体结构:   双层Al2O3纤维钢构,无需水冷或风冷,
  • 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
  • 加热元件:   8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm) 
  • 加热区:      4"X12" length ( +/-5oC ) 
  • 石英管:     4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length 
  • 真空法兰:   不锈钢制作,带有水冷接口和针阀,双层高温”O“型圈密封。长时间在 > 900oC 条件下运行必须采用水冷
  • 循环水流量: 0.5 m/hr 
  • 温控仪:  通过可控硅(SCR)   PID 自动控制  
  • 带自整定功能的30 程序精确控制 
  • 具有过热保护和断偶保护功能 
  • 控温精度: +/- 0.5oC 
  •  RS485 接口可与电脑连接 
  • 包含软件(要求Window XP/7 系统
  • 最快升温速度:        室温~800℃: 50 oC/sec 800℃~1000℃ 10oC/sec
  • 工作温度:     最高1100oC 
  • 功率:                   208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 9 KW Max. (> 60A 保险
  • 尺寸:                    760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) 
  • 重量:                    45 kg (100 lbs) 

结构图

 可滑动的石英样品架, 最大可放 3" 基片

炉子可以以 100 oC/second升温到1000oC, 打开上盖可快速降温

滑动法兰使得装载样品很容易

 

 

 控温软件

 

 

 

 

温控软件的主界面

 

可选  本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

关于真空泵和气体流量计

 

  • 3个气体流量计 (量程40-400 cc/min  , 精度4%  FS) 安装在移动架底部,显示每路气体的流量。
  •  高速真空泵2TW-4C-220v (真空度可达f 10-2 torr通过橡胶管与RTP炉子相连
  • 4个不锈钢针阀(移动架的侧面)分别控制3路进气和一路混合气。 
  • 4个压力表(移动架的正面)分别显示每路气体和混气的压力。
  • 尺寸:          600 mm (L) x 600 mm  (W) x 597 mm ( H)
  • 重量:          210 lbs
  • 保修期:       一年质保期(耗材:如炉管,“O"型圈 和红外灯等不在保修范围内)

国家专利

一种快速高温退火炉;

 专利编号:ZL-2011-2-0077168.4

 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

 

 

 

 

 

 

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