• 产品名称: 1000℃小型RTP炉--OTF-1200X-4-RTP
  • 产品编号: OTF-1200X-4-RTP
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

下载附件: 1100℃RTP炉装箱单 【查看】

    OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。(与此设备有关的论文连接,请点击查看

 

 

    免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

 

 技术参数

名称    小型RTP快速退火炉

 

 

 

 

视频

 
     
     展示视频       操作视频

 

 

 

  基本参数

  

     温度最高1100ºC (长期1000°C)     加热区加热区长度12" ;恒温区长度4"( +/-5ºC )

 

     热偶进口K 型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下。  电源208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 额定功率12KW (> 60A 保险) 

 

 

 

 

 

 

  加热元件

  

8 根红外灯管 (直径10 总长300 加热长度 200, mm)(点击图片查看详情)


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  升温降温速率

  

  最快升温速率

 

          室温~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃: 10oC/sec

 

    最快降温速率

 

60ºC/min (在 200 mtorr下), 117ºC/min (在一个大气压下) 
 
选择:  为得到较快的降温速度 < 10°C/秒, 你可以选择带滑轨的 RTP 炉,如下图:
 
   

 

 

 

 

 

  炉体结构


 

 

 

 

 

  石英管和样品架


  • 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
     
  • 3" 的样品架固定在滑动法兰上,石英材料
     
  •  一片3"  AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。
     
  • AlN 具有很高的热导率,所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+\- 5°C

 

 

 

  真空法兰


  • 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作,两个高温“O”型圈密封
     
  • 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。

 

 

 

 

 

 

 

 

  水冷

     

    如果要求通冷却水.

 

  • 请确定冷却水流速 ≥ 3L/min, 水温 < 20ºC; 水压 > 25 PSI
     
  • 我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统(为了节约用水).
     
  • 警告:  这款 RTP 炉在1000ºC ~ 1100ºC下保温时间不超过 600 秒,否则“ O”圈将被烧融
     
 
  流量计

      范围: 16 - 160 ml/min

 

 

 

 

 

 

 

  真空表

 

  • 标配:数字真空表测量范围为10-4 -1000 Torr;在测量腔体真空度为10-4- 10-3Torr前必须进行零点校准,否则,显示真空度会有较大的偏差;LED数字式显示,显示单位分为torr mtorr;接口规格为1/8"NPT;CE认证;输入电压: 110V~220V。
     
  • 注意:此表是在氮气下校准的,只有在氮气和空气下表上显示的是实际压力,当通入任何其他气体时,必须参考说明书中的相对气体对照表,否则后果会很严重。
         
     

 

 

 

 

 

 

 

  真空度

 
  • 用机械泵真空度达 50 mtorr .
     
  • 用分子泵真空度可达 10-4 torr .

 


 

 

 

 

 

 

 

  温控系统


  • PID 自动控制,30段程序带过热和断偶保护功能
     
  • 热偶: 进口K type
     
  • 自整定功能
     
  • 控温精度: +/- 1°C
     
  • RS485 串口和温控软件(模块和数据线需要另购)
     
  • 温度控制:PID 自动控制, 可控硅 SCR    
     
  • 温控操作视频:点击查看

 

 

 

 

 

  注意

  

    此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发)炉(可查看下方的图片自己制备RTE
     

 

 

 

 

 

  尺寸

 
760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) 
 
  质量
45 kg (100 lbs) 
  保修期
电器部分一年质保期 (耗材:如炉管,“O”型圈和加热灯管等不在保修范围内)
  认证
 
 

  国家专利               

    专利名称:一种快速高温退火炉

    专利编号:ZL-2011-2-0077168.4

    尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

  使用注意事项
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
     
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
     
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
     
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
     
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
     
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

 

 

 

 

 

 

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