• 产品名称: 高真空4"RTP 炉 (1E-4 torr)-OTF-1200X-4-RTP-HV
  • 产品编号: 2-3-03-0
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
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      OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速热处理管式炉(4" 石英管), 配有高真空系统(机械泵 +分子泵) ,带KF-D25 真空法兰.它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热,最快升温速度为 50°C/second. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。   
 

 

技术参数

 

 

 

 

 

 

 

 

炉子


结构
加热元件 8根红外灯管(D=10 L=300 T =200, mm)

 

 

工作温度

  • 最高1100°C
  • 炉子可以加热到1100°C, 可以打开上盖进行快速冷却
最快升温速度 室温~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃ 10oC/sec
最快降温速度 64°C/min (在真空: 200 mtorr下), 117°C/min (在一个大气压下) 
加热区  4" X12"恒温区( +/-5°C )

 

 

 

 

温控仪

  • PID 自动控制,30段程序带过热和断偶保护功能
  • 热偶: K type
  • 自整定功能
  • 控温精度: +/- 0.5°C
  •  RS485 串口和温控软件
控制芯片 + 数据线 + 软件 软件界面 温度曲线

 

石英管和样品架

  • 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
  • 3" 的样品架固定在滑动法兰上,石英材料
  •  一片3"  AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。
  • AlN 具有很高的热导率,所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性。
真空法兰
  • 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作,两个高温“O”型圈密封,.
  • 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。
  • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计测量其真空度,其测量范围为3.8x10-5 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)
流量计 装在前面板上一路流量计调整范围 16 - 160 ml/min
电源

208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 

最大功率12KW. (> 60A 保险)

 

 

 

 

 

 

高真空系统

结构
  • 移动架尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(W), mm
  • 最大承重:       600 Lbs 
  • 分子泵控制面板 :   LCD 显示
  • 前级泵 和  分子泵 安装在移动架里面.
真空度 6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式炉在 40 minutes内)
控制面板
  • 一键操作 - 按一下“start"键,前级泵和分子泵便开始工作.
  • 系统控制转速 - 根据真空度和腔体的漏气情况自动调整转速.
  • 自保护功能 - 如果真空腔体漏气率太高不能达到高真空,系统会自动保护,避免因过热或过流而造成损坏。
  • LCD 显示屏 - 双线性参数检查界面,使操作更简单.
自测试 旋转状态
启动时间 2 minutes
前级泵在10mbar下的流速 3.8 L/min   50Hz , 4.4 L/min  60Hz
电源 110V AC 和220V AC 任意切换, 50/60Hz
功率 最大: 110Watt
包装 重量和尺寸
  • RTP 炉子: 110 lbs,  760 x 330 x 530mm (30" x 13" x 21" inch) L x W x H
  • 高真空系统: 40 lbs,  600 x 600 x 700mm (24" x 24" x 28") L x W x H
保修期和认证 电气部分一年保修期. (耗材:如石英管,"O"圈和加热灯管等不在保修范围内)
  CE 认证

 

国家专利

专利名称:一种快速高温退火炉 

专利编号:ZL-2011-2-0077168.4

尊重创新,鄙视抄袭,侵权必究

使用注意事项:
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
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