• 产品名称: 3”等离子清洗机--PDC-36G
  • 产品编号: PD-C-36G
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号: PD-C-36G
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       PDC-36G 等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机。使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染。在射频电源的作用下,去除速率最大每分钟10纳米。在单晶材料外延薄膜生长以前进行预处理,对生长具有显著的作用 

 

    免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

 

 

技术参数

 

名称

3"等离子清洗机--PDC-36G

 

 

视频

                 操作视频

 

 

 

 

 

 

 

主要特点

 

 

·结构紧凑、小型化的桌上型仪器

 

·用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物

 

·在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的优秀工具。清洗后镀质量可以更好

 

·铰链式门,方便装样

 

·石英腔的直径是3英寸,在里面可以放入一个石英舟,最大清洗一个2英寸的基片

 

·清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更换

 

·使用可调射频电源可以设置功率为低、中、高级别;低成本、操作安全

 

 

 

 

 

 

 

主要参数

 

·低功率设定:直流680V,10mA,6.8W

 

·中功率设定:直流700V,15mA,10.5W

 

·高功率设定:直流720V,25mA,18W

 

·射频源输出频率:13.56MHz

 

·等离子直流电源

 

·输入电压:220V,50Hz

 

 

 

等离子腔室

 

·直径75mmx长200mm的石英墙体,前盖可以开启

 

·高纯度石英腔体,使用寿命比玻璃长

 

真空计

设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。

 

 

 

 

 

可选配件

 

·您可以订购额外的石英腔体,用于备用

 

·如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PDC-36G等离子清洗机可以2路混气系统组合(点击下面第一张图片了解详情)

 

·您可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片

 

    

 

 

真空泵和阀

 

·此设备不包含真空泵

 

·您可以点击下方图片了解真空泵信息

  

 

 

 

 

工作气体

 

·多种气体可以用于等离子清洗,例如氮气、氩气、空气、混合气体,主要取决于处理何种材料。

 

·可以使用<4%的H2混合惰性气体

 

·警示:不能使用可燃性及腐蚀性气体

 

 

 

 

 

 

等离子清洗刻蚀的方法

 

外形尺寸

353mmLx380mmWx225mm H

净重

8kg(不含泵)

认证

CE认证

 

 

 

 

质保期

 

一年保修,终身技术支持。

 

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

点击查看售后服务承诺书。

 

工作原理

等离子清洗机工作原理

 

 

免责声明

 

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