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500℃真空平板热压机(平板尺寸100×100~400×400mm,20-40T)
- 型号:
- YLJ-HPV-5-XX
- 产品概述:
- YLJ-VHP5 是一款真空平板热压机,专为晶圆键合、薄膜转移和 LCP 层压设计,加热面积为 100 ×100 mm~400×400mm。其最高工作温度为 500 ℃,最大压力为 20T~40T。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
基本参数
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产品型号 | ·YLJ-VHP5-4 | ·YLJ-VHP5-12 | ·YLJ-VHP5-16 | 电压和功率 | ·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz ·单相 2,000 W | ·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz ·单相 5,000 W | ·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz ·单相 6500 W | 加热平板 (其他尺寸可定制) | ·100×100mm | ·300×300mm | ·400×400mm | 2个平板最大距离 | ·30mm | ·40mm | ·40mm | 腔体尺寸和容积 | ·525 L x 480 W x 450 H (mm) ·~ 75 L | ·614 L x 574 W x 514 H (mm) ·~ 170 L | ·700 L x650 W x 550H (mm) ·~250 L | 加热平板承受最大压力 | ·10T(500℃) ·20T (室温) | ·20T(500℃) ·30T (室温) | ·30T(500℃) ·40T (室温) |
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真空平板热压机结构
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·2块加热平板最高工作温度500℃,采用高温合金制作 ·加热元件插入加热板的中心,以实现快速加热。 ·2块加热板分别由2个温控仪表独立控温,30段程序控温 ·在加热板的顶部和底部都安装了水冷套管,以辅助散热。进/出水管为外径12mm聚氨酯管
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液压泵
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·改良后的电动液压机安装在工作台下方,并与一个真空腔室相连 ·压缸最大行程15mm ·通过数字压力表设置,自动压力控制 ·压力精度:+/-0.01 Mpa ( 0.1 kg/cm²) ·当温度超过 200℃时,需要采用水冷方式(冷却流量>16 L/min)来冷却加热板。
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温度控制和压力显示
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·2块加热板分别由2个温控仪表独立控温,30段程序控温,控温精度±1℃ ·温度控制器具备 PID 自动校准功能、过热保护以及断热电偶保护功能。 ·最高工作温度:500℃(惰性气氛或真空环境下) ·最高加热速率:5℃/min ·控制面板内内置了一款数字压力计(控制器)。您可以设定所需的压力值,这样就能使电动液压机到达压力值时自动恒压。
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真空腔体
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·电动液压机和加热板被放置在真空室内部 ·真空室由 SS304 不锈钢制成 ·安装有一个真空密封门,直径300mm,有一个直径150mm的石英窗口,便于装样品和观察 ·所有真空密封均使用硅橡胶 O 型圈 ·可选购安装了一个数字真空计(10E-4Torr)测量真空腔室的真空度
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可选
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·可选购设备(需额外费用) ·需要一台循环水冷机,用于对过热的散热板进行冷却,以加快冷却速度。 ·可选购真空泵,机械泵抽真空度300mTorr,分子泵系统抽真空度10-4Torr 
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应用注意
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·此款热压机也可用于测量热电发电机模块(顶部受热,底部冷却)
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