500℃真空平板热压机(平板尺寸100×100~400×400mm,20-40T)
型号:
YLJ-HPV-5-XX
产品概述:
YLJ-VHP5 是一款真空平板热压机,专为晶圆键合、薄膜转移和 LCP 层压设计,加热面积为 100 ×100 mm~400×400mm。其最高工作温度为 500 ℃,最大压力为 20T~40T。
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基本参数

产品型号

·YLJ-VHP5-4

·YLJ-VHP5-12

·YLJ-VHP5-16

电压和功率

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·单相 2,000 W

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·单相 5,000 W

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·单相 6500 W

加热平板

(其他尺寸可定制)

·100×100mm

·300×300mm

·400×400mm

2个平板最大距离

·30mm

·40mm

·40mm

腔体尺寸和容积

·525 L x 480 W x 450 H (mm)
·~ 75 L

·614 L x 574 W x 514 H (mm)
·~ 170 L

·700 L x650 W x 550H (mm)
·~250 L

加热平板承受最大压力

·10T(500℃)

·20T (室温)

·20T(500℃)

·30T (室温)

·30T(500℃)

·40T (室温)


真空平板热压机结构

·2块加热平板最高工作温度500℃,采用高温合金制作

·加热元件插入加热板的中心,以实现快速加热。

·2块加热板分别由2个温控仪表独立控温,30段程序控温

·在加热板的顶部和底部都安装了水冷套管,以辅助散热。进/出水管为外径12mm聚氨酯管

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液压泵

·改良后的电动液压机安装在工作台下方,并与一个真空腔室相连

·压缸最大行程15mm

·通过数字压力表设置,自动压力控制

·压力精度:+/-0.01 Mpa ( 0.1 kg/cm²)

·当温度超过 200℃时,需要采用水冷方式(冷却流量>16 L/min)来冷却加热板。


温度控制和压力显示

·2块加热板分别由2个温控仪表独立控温,30段程序控温,控温精度±1℃

·温度控制器具备 PID 自动校准功能、过热保护以及断热电偶保护功能。

·最高工作温度:500℃(惰性气氛或真空环境下)

·最高加热速率:5℃/min

·控制面板内内置了一款数字压力计(控制器)。您可以设定所需的压力值,这样就能使电动液压机到达压力值时自动恒压。

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真空腔体

·电动液压机和加热板被放置在真空室内部

·真空室由 SS304 不锈钢制成

·安装有一个真空密封门,直径300mm,有一个直径150mm的石英窗口,便于装样品和观察

·所有真空密封均使用硅橡胶 O 型圈

·可选购安装了一个数字真空计(10E-4Torr)测量真空腔室的真空度


可选

·可选购设备(需额外费用)

·需要一台循环水冷机,用于对过热的散热板进行冷却,以加快冷却速度。

·可选购真空泵,机械泵抽真空度300mTorr,分子泵系统抽真空度10-4Torr

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应用注意

·此款热压机也可用于测量热电发电机模块(顶部受热,底部冷却)

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