750℃真空平板热压机(平板135×135~350×350mm,5T)
型号:
YLJ-HPV-7-XX
产品概述:
YLJ-VHP7 是一款真空平板热压机,专为晶圆键合、薄膜转移和 LCP 层压设计,加热面积为 135 ×135mm~350×350mm。其最高工作温度为 750 ℃,最大压力为 20T~40T。
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基本参数


产品型号

·YLJ-VHP7-4

·YLJ-VHP7-12

电压和功率

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·单相 4.8KW

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·单相 15KW

加热平板

(其他尺寸可定制)

·135×135mm

·平面度<0.02mm(区域100×100mm)

·350×350mm

·平面度<0.03mm(区域250×250mm)

2个平板最大距离

(可放样品最大厚度)

·80mm

·200mm

腔体尺寸和容积

·670长×630宽×670高(mm)
·~ 282L

·670 L x 630 W x 719H (mm)
·~ 303 L

加热平板承受最大压力

·5T (750℃)

·5T(750℃)


真空平板热压机结构

·2块加热平板最高工作温度750℃,采用高温合金制作

·加热元件插入加热板的中心,以实现快速加热。

·2块加热板分别由2个温控仪表独立控温,50段程序控温

·在加热板的顶部和底部都安装了水冷套管,以辅助散热。进/出水管为外径12mm聚氨酯管

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压机

·压缸形成40mm

·压力显示范围:2.00-5000.00kg

·压力控制范围:50-5000Kg

·保压时间:1-9999min

·设备有两种工作模式:手动加压和自动加压。自动加压模式下设备带有恒压功能:当压力值达到目标值后,在保压的过程中,设备持续补压使压力保持在设定值。

·恒压精度:±3kg


温度控制和压力显示

·2块加热板分别由2个温控仪表独立控温,50段程序控温,控温精度±3℃

·温度控制器具备 PID 自动校准功能、过热保护以及断热电偶保护功能。

·最高工作温度:750℃<30分钟,连续工作温度700℃(惰性气氛或真空环境下)

·最高加热速率:5℃/min

·控制面板内内置了一款数字压力计(控制器)。您可以设定所需的压力值,这样就能使电动液压机到达压力值时自动恒压。

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真空腔体

·电动液压机和加热板被放置在真空室内部

·真空室由 SS304 不锈钢制成

·安装有一个真空密封门,直径300mm,有一个直径150mm的石英窗口,便于装样品和观察

·所有真空密封均使用硅橡胶 O 型圈

·可选购安装了一个数字真空计(10E-4Torr)测量真空腔室的真空度


可选

·可选购设备(需额外费用)

·需要一台循环水冷机,用于对过热的散热板进行冷却,以加快冷却速度。

·可选购真空泵,机械泵抽真空度300mTorr,分子泵系统抽真空度10-4Torr

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应用注意

·此款热压机也可用于测量热电发电机模块(顶部受热,底部冷却)

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