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750℃真空平板热压机(平板135×135~350×350mm,5T)
- 型号:
- YLJ-HPV-7-XX
- 产品概述:
- YLJ-VHP7 是一款真空平板热压机,专为晶圆键合、薄膜转移和 LCP 层压设计,加热面积为 135 ×135mm~350×350mm。其最高工作温度为 750 ℃,最大压力为 20T~40T。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
基本参数
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产品型号 | ·YLJ-VHP7-4 | ·YLJ-VHP7-12 | 电压和功率 | ·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz ·单相 4.8KW | ·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz ·单相 15KW | 加热平板 (其他尺寸可定制) | ·135×135mm ·平面度<0.02mm(区域100×100mm) | ·350×350mm ·平面度<0.03mm(区域250×250mm) | 2个平板最大距离 (可放样品最大厚度) | ·80mm | ·200mm | 腔体尺寸和容积 | ·670长×630宽×670高(mm) ·~ 282L | ·670 L x 630 W x 719H (mm) ·~ 303 L | 加热平板承受最大压力 | ·5T (750℃) | ·5T(750℃) |
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真空平板热压机结构
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·2块加热平板最高工作温度750℃,采用高温合金制作 ·加热元件插入加热板的中心,以实现快速加热。 ·2块加热板分别由2个温控仪表独立控温,50段程序控温 ·在加热板的顶部和底部都安装了水冷套管,以辅助散热。进/出水管为外径12mm聚氨酯管
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压机
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·压缸形成40mm ·压力显示范围:2.00-5000.00kg ·压力控制范围:50-5000Kg ·保压时间:1-9999min ·设备有两种工作模式:手动加压和自动加压。自动加压模式下设备带有恒压功能:当压力值达到目标值后,在保压的过程中,设备持续补压使压力保持在设定值。 ·恒压精度:±3kg
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温度控制和压力显示
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·2块加热板分别由2个温控仪表独立控温,50段程序控温,控温精度±3℃ ·温度控制器具备 PID 自动校准功能、过热保护以及断热电偶保护功能。 ·最高工作温度:750℃<30分钟,连续工作温度700℃(惰性气氛或真空环境下) ·最高加热速率:5℃/min ·控制面板内内置了一款数字压力计(控制器)。您可以设定所需的压力值,这样就能使电动液压机到达压力值时自动恒压。
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真空腔体
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·电动液压机和加热板被放置在真空室内部 ·真空室由 SS304 不锈钢制成 ·安装有一个真空密封门,直径300mm,有一个直径150mm的石英窗口,便于装样品和观察 ·所有真空密封均使用硅橡胶 O 型圈 ·可选购安装了一个数字真空计(10E-4Torr)测量真空腔室的真空度
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可选
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·可选购设备(需额外费用) ·需要一台循环水冷机,用于对过热的散热板进行冷却,以加快冷却速度。 ·可选购真空泵,机械泵抽真空度300mTorr,分子泵系统抽真空度10-4Torr
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应用注意
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·此款热压机也可用于测量热电发电机模块(顶部受热,底部冷却)
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