| 设备结构 | ·三温区立式加热炉，最高温度1100℃ ·配有高纯石墨坩埚和石墨样品台 ·腔室顶盖自动打开，位于手套箱内，方便样品和支架更换 ·手套箱内部装有自动移动架和大型转移室自动门，便于样品更换和放置 |
| 电源要求 | ·单相AC 220V 50/60HZ ·最大功率6 kW |
| 加热元件 | ·电阻丝 |
| 工作温度 | ·最高工作温度：1100ºC (< 1 hr.) ·连续工作温度1000ºC ·建议升温速率≤10°C/min |
| 加热区 | ·150mm+200mm+150mm (3个加热区独立控制) ·恒温区长度: ≥ 170mm ·恒温区中的温度均匀性: 400-600°C ±3°C 600-900°C ±0.5°C |
| 晶体生长 | ·最大基材尺寸：≤60*60mm ·每批基板数量：≤3片 ·上拉机构行程：100mm ·上拉速度范围：0.05mm/h -10mm/h ·拉杆旋转速度范围：1-10rpm |
| 高压腔体 | ·SS304不锈钢 ·腔室尺寸：φ370mm（外腔）*φ350mm（内腔）*1200mm ·最大压力：1.2 MPa（≤700℃） ·流动气氛下恒压控制，压力控制精度：±1% ·进气口配有质量流量控制器，进气流量计量程：1000sccm ·压力传感器安装在腔室顶盖上，实时监测内部压力变化 ·电磁安全阀与机械安全阀双重安全保护 |
| 手套箱系统 | ·电源：220VAC， 50/60Hz，单相 ·功率:2KW ·腔室材料：304不锈钢 ·前后开口钢化安全玻璃窗设计 ·有效内部尺寸：1200*800*1200mm（长*宽*高） ·在手套箱箱体顶部安装滑动料盘接口：机箱背面有4个KF40接口 ·2个过渡仓： ·大过渡仓尺寸：Φ360mm ID ×长度600mm ·小过渡仓尺寸：Φ150mm ID ×长度300mm ·滑动托盘内安装有大型自动门传送室 ·最大真空度：100Pa ·丁基橡胶手套尺寸：Φ203mm × 813mm ·循环工作气体：N2、Ar、He ·鼓风量：90m³/h ·触摸屏PLC控制，自动再生 ·再生气体：混合氢气的工作气体（氢气5%-10%） ·标配240L/min抽速双极旋片机械泵，泵出口处安装油雾过滤器 |
| 温度和压力控制系统 | ·PID自动温度控制系统 ·温度控制精度：±0.1°C ·热电偶：K型 ·触摸屏控制三个独立的温度区域控制器 ·加热曲线可以在触摸屏上查看，保存和导出 ·压力可以在触摸屏上设置 ·内腔压力实时显示 ·真空泵和真空阀可通过触摸屏控制 |
| 真空系统 | ·泵送速率：6l /S ·极限压力：4*10-1Pa（无负载，仅机械泵） ·额定功率：1500w |
| 产品尺寸 | ·泵送速率：6l /S ·极限压力：4*10-1Pa（无负载，仅机械泵） ·额定功率：1500w |
| 产品重量 | ·~500kg |
| 应用注意 | ·本设备正常工作温度可达1000℃，最大压力1.2MPa（高纯氩气环境下）。操作时请勿超过温度或压力限制 ·不要引入腐蚀性气体，如氯化物或硫化物，因为它们可能损坏组件 ·待炉温恢复到室温后再打开炉盖。样品可能仍处于高温状态，请小心操作，并使用手套或其他工具 |
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皖公网安备 34012302000974号
