| 设备名称型号 | ·800℃立式超声雾化辅助CVD系统 Msit-CVD-800X |
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| 基本参数 | · 电源：AC 220V 50HZ · 功率：3.3KW |
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| 控制面板 | · 所有参数都通过7英寸触摸屏设置， · 可以设置加热平台和硅胶加热带的温度 · 可实时显示腔体内部真空度 |
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| 超声雾化系统 | · 设备中含有一台超声雾化装置 超声雾化装置： · 220VAC ，1.7MHz · 液体罐标配为聚四氟乙烯材质（其它材质的罐子可以与销售联系进行定制），并采用氟胶密封圈密封； · 罐盖上设有一个进气口和一个出雾口，进气口通过聚四氟管与气瓶相连，出雾口通过水管连接到设备内部。 · 可设置1-3档雾化量，通过调节档位大小，控制雾化量的多少； 雾化档位和进液量相对应关系（仅供参考）如下表，溶液的浓度和进气量的大小会对此有影响。具体大小根据实际情况来定。
· 可实现连续运行雾化和定时运行雾化两种功能。定时时间从30分钟到180分钟可调 · 雾化片尺寸：1.2mm×φ20
注射泵： · 标配一套液体注射泵，用于自动进液 · 标配一个最大容积为60ml的注射针筒用于盛放溶液 · 线速度范围：6.1um-120mm/Min · 注射液体速度：3.9ul-76.5ml/min（按照60ml注射器计算） · 适用注射器类型：10ul-60ml · 控制精度：当＞30%满程时，控制误差≤±0.3% |
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| 气体/蒸汽分散喷头 | · 材料：哈式合金 · 喷头直径：4英寸；喷孔直径：0.5mm， · 气体流量：0.2-2L · 喷头顶部有两个进气口，一个进气口的一端与超声雾化装置的出气口（雾化气口）连接；另外一个进气口与设备背面的出气口2连接。 两个进气口管道都缠绕有硅胶加热带，实现对气口的加热，加热带最高加热温度：100℃。
· 气体分散喷头特殊的流道设计，可使气体/蒸汽均匀的传递和分散到沉积腔体中
· 喷头与样品台之间的距离20-80mm可调，旋松接头上的螺母，即可调节喷头的上下距离。 |
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| 样品台 | · 4英寸加热的样品台，样品台顶部的盖板为哈氏合金材质（用于在高温下提高耐腐蚀性能） · 温度：最高温度700℃（＜1h）；长期使用温度：600℃ · 控温精度：±5℃，可实现28段程序PID控温； · 可放入样品最大尺寸：φ100mm · 样品台可旋转，旋转速度1-5RPM（可调）
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| 真空腔室 | · 石英腔室尺寸：约166 mm 外径 X 150 mm 内径 x 250 mm高度 · 通过不锈钢材质的法兰密封，确保腔体真空度：10-5torr（分子泵系统），10-2Torr(机械泵） · 法兰上含有两个φ6.35mm的双卡套接头，一个为进气口，一个为出气口，分别通过一个不锈钢针阀控制气体的通断； 一个量程为-0.1-0.15MPa的机械压力表用于观察腔体内部压力;一个KF16接口安装了一个数显防腐真空计 · 腔体底部有一个KF25接口为抽真空接口，可通过不锈钢波纹管与真空系统连接（波纹管与真空系统客户自备） · 腔室外部包裹了一个陶瓷加热环，最高加热温度为150℃。陶瓷加热环上留有观察窗口，可以观察到样品台上的基片。
· 腔体底部法兰带有倾斜角度，在平面度最低的位置留有排水口，使雾化的冷凝水能从排水口流出，流出的冷凝水通过排水管流入到收集器内，一个球阀控制排出。
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| 设备外形尺寸 |
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| 重量 | ·约180KG |
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| 质保 | 一年质保期，终生维护 · 特别提示： 1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
使用注意事项 | · 石英腔体内气压不可高于0.02MPa（相对气压）； · 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa， 建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数， 若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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皖公网安备 34012302000974号
