750℃&5T真空平板热压机
型号:
VHP-5T-4
产品概述:
VHP-5T-4是一款电动真空平板式真空热压机,针对于晶片的焊接或薄膜转移,其可处理最大样品尺寸为350mm x 350mm。仪器最高工作温度为750℃,在此温度下可对样品施加的最大压力为5T。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
基本参数

·电源:AC220V , 50 Hz 单相,总功率:15KW

·两块350mm x350mm加热平台,采用310S不锈钢钢制成,最高可承受温度为750℃(<30min)

·12根加热管布置在上下加热平台的内部,以达到快速加热的效果

·两个精密的温控器独立控制两块加热平台,可设置30段升降温程序


上下加热平台和真空腔体

·上下加热平台都安装在真空腔体内,上下加热平台尺寸:350*350mm

·上下加热板平面度<0.03mm(在有效面积250mm*250mm范围内)

·真空腔体采用304不锈钢制作,并焊接有加强筋(防止真空状态下腔体变形),真空度可以达到10-2torr

·内部腔体尺寸为:长664×宽624×高719mm,厚度3mm

·可放入样品最大尺寸:长*宽*高=350*350*200mm

·真空腔体前端有一直径为φ150mm的观察窗口

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·一个机械压力表安装在真空腔体上,用于观察腔室内真空度。预留的KF16接口可选择安装数显真空计

·腔体左侧面板含有两个φ12的水管接头,用于连接水冷设备,一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用,并通过一个球阀控制进气的通断

·腔体背面有两个φ8mm宝塔气嘴的出气口,并分别通过一个球阀控制出气的通断

·腔体右侧面有一个KF25和一个KF40的抽真空接口,方便客户匹配各种型号的真空系统

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·腔体的四个面都安装有风扇,能降低腔体表面温度


温控系统

·两个精密的温控系统可设置50段升降温程序,控温精度为±1℃,750度恒温时的温度波动±10℃,,分别独立控制两个加热平台

·温控系统采用PID方式进行温度调节,并带有过热和断偶保护

·最高工作温度为:750℃(<30 min)

·最快升温速率: 10℃/min

·软件和PC接口安装在控温仪表上,可将温度程序和温度曲线导入到电脑中(另购)

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压力控制系统

·最大压力:5T(5000kg)

·丝杆可移动距离:200mm

·压力显示范围:1.00-5000.00kg

·压力控制范围:30-5000Kg

·保压时间:1-9999min

·设备有两种工作模式:手动加压和自动加压。

 自动加压模式下设备带有恒压功能:当压力值达到目标值后,在保压的过程中,设备持续补压使压力保持在设定值。恒压精度:±3kg

·在手动模式下通过操作压机面板上的按钮,实现加压泄压过程


水冷设备(选配)

·两个水冷板分别设置在上下加热板上,在真空腔体内部采用不锈钢软管进行连接,腔体外部采用透明PVC水管连接水冷机

·可选购本公司循环冷水机进行冷却

·型号:KJ-6200

·工作电压:AC 220V 50HZ

·工作电流:2.3-13A

·制冷量:17510Btu/h

·功率:3000W

·水箱容量:15L

·最大流量:70L/min

·净重:82Kg 

·外形尺寸:600*470*890mm 

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真空系统 (选配)

·型号:VRD-48

·抽气速率:13.3 L/S

·电机功率:1500W

·极限压强:4×10-1Pa(不带负载)

·进、排气口连接口:KF40

·如果想要获得更高的真空度(10-5toor 或更高)可选购国产或进口高真空机组

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外形尺寸

·1190L×1080W×1900Hmm

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重量

·约730Kg


质保

·一年质保期,终生维护

·特别提示:

1、耗材部分如加热元件、石英窗口等不包含在内

2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内




 注意事项

·不可过压过温使用,最高温度为750度,最高压力5T

·加热前请务必通上水冷,防止损坏压力机,使用前请检查水冷机的水位情况及水冷机是否漏水

·现场请留有工作人员,防止突发事件发生

·保持整个机器的清洁。防止粉尘,最好将机器放在一个无粉尘的环境中工作

·当收到设备后,在使用设备前请将上下加热板上的防锈油用酒精或汽油等有机溶剂擦拭干净


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