| 设备名称型号 | ·等离子清洗机 PDC-36G/220V |
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| 特点 | ·结构紧凑，小型的桌面型仪器 ·用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物 ·铰链式门，方便装样、取样 ·清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更换 ·使用可调射频电源，可以设置功率为低、中、高级别；低成本、操作安全 |
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| 基本参数 | ·电源：AC 220V 50/60HZ ·功率：200W |
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| 结构 | ·腔体内装入一根尺寸为φ80*205mm的石英管，石英管内可放入一个石英舟，最大可清洗2英寸的基片 ·腔门上安装有一个不锈钢三通，含有一个φ6.35的卡套接头，做为进气口使用，一个不锈钢针阀控制进气量，。一个不锈钢三通球阀控制各通道的通断。一个KF16的接口安装了一个电阻规，电阻规信号线连接到电阻真空计上。设备背面的一个KF25接口与真空系统连接 ·腔体顶部有一φ35mm的石英观察窗用于观察腔室的反应
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| 工作气体 | ·许多惰性气体都可以作为等离子清洗的气体，如氮气、氩气、空气和混合气体，选择的气体与清洗的材料相对应 ·等离子清洗不能使用易燃的气体 |
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| 等离子直流电源 | ·输入电压:AC 220V 50HZ ·输出频率：13.56MHZ ·压力范围：1-1999Torr ·功率可调，分为低、中、高三个等级：
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| 电阻真空计 | ·型号：ZDZ-52T ·显示方式：LED数字显示 ·测量范围：1.0*105~1.0*10-1（Pa） ·准确范围：3.0*103~1.0*100（Pa） ·参考范围：1.0*105~3.0*103（Pa） 1.0*100~1.0*10-1（Pa） ·功率：10W ·使用环境：温度-10~50℃；湿度＜90%
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| 真空系统（选配） | ·型号：VRD-8 ·抽气速率：2.2 L/S ·电机功率：370 W ·极限压强：5×10-1Pa（不带负载） ·实际压强：≤5 Pa（带上炉管和密封法兰，冷态下机械泵抽20分钟） ·如果想要获得更高的真空度（10-5toor 或更高）可选购国产或进口高真空机组
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| 设备外形尺寸 | ·350mm（L）*375mm（W）*400mm（H） |
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| 重量 | ·约9kg |
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| 质保 | ·一年质保期，终生维护 ·特别提示： 1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
·科晶应用技术实验室用此设备清洗基片，清除表面污染物，以供参考。
清洗前向基片上滴入0.05ml水滴，其结果如图所示。通入氩气清洗十分钟后，向基片上滴入0.05ml水滴，其结果如图所示。 | ||
石英 |
图1 清洗前 |
图2 清洗后 |
硅片 |
图3 清洗前 |
图4 清洗后 |
注意事项 | ·腔室中不可以通入正压 ·在真空状态下不要打开前级法兰防止损坏玻璃室 ·如果清洗机腔室不能立即充气，油会回流到腔室污染系统，故真空泵请安装防回油装置 ·此设备不建议使用有毒有害气体。 |
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皖公网安备 34012302000974号
