| 设备名称型号 | ·反射膜厚仪 SR-C |
| 基本参数 | ·电源：AC 220V 50HZ ·功率：60W ·基本功能：获取薄膜厚度值以及 R 、N/K 等光谱 ·光谱分析范围：380nm-1000nm ·测量光斑大小：标准1.5mm，最小 0.5mm ·膜厚重复性测量精度：0.02nm (100nm硅基 SiO2样件，500次重复测量) ·膜厚绝对精度：0.2% 或 2nm 之间较大者 ·膜厚测量范围：15nm-70μm ·测量 n 和 k 值厚度要求：100nm以上 ·单点测量时间：≤1s ·光源：高性能进口标准卤素灯光源 ·基板尺寸：最大支持样件尺寸到200*200mm(可升级定制不同尺寸样品台) |
| 测控与分析软件 | ·分析软件：多达数百种的光学材料常数数据库，并支持用户自定义光学材料库；提供多层各向同性光学薄膜建模仿真与分析功能 ·光谱测量能力：反射率光谱测量 ·数据分析能力：膜厚分析能力，光学常数(折射率和消光系数) ·支持常用光学常数模型以及常用振子模型(柯西模型、洛伦兹模型、高斯模型等)； ·支持用户自定义，可授权离线分析软件模拟实际测量，支持 windows 10 操作系统
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| 涂装与表面处理 | ·涂装颜色：以黑白灰色为主 ·表面处理：镀化学镍、阳极处理、烤漆等 |
| 配件 | ·标准SiO2/Si标样 ·K9玻璃标样 ·标准安装工具一套 |
| 环境要求 | ·承载台：尺寸>1.0m (长)×0.7m (宽)，承载能力大于20Kg ·使用温度范围：20 ~ 26 ℃ ·相对湿度：35% ~ 60% RH ·空气压力范围：750~1014 mbar ·洁净度：Class 1000 |
| 质保与售后服务 | ·整机硬件质保期为12个月。在质保期内出现各类故障供方及时免费维修，对非人为造成的各类零件损坏，及时免费更换 ·测控与分析软件：终身免费升级，数据分析软件提供不限量拷贝 ·为用户提供全面充分仪器操作与数据分析培训 ·提供12个月免费数据建模与分析技术支持，免费期为用户提供样件材料光学常数标定与模型库升级服务 |
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皖公网安备 34012302000974号
