2100℃上称重CZ晶体生长炉
型号:
SKJ-50CZ
产品概述:
SKJ-50CZ 是一款高真空上称重CZ法 晶体生长炉,最高温度可达 2100℃,单晶生长尺寸为 2 英寸,配有高精度在线称量装置,称量装置位于提拉机构上部,最大称重5Kg,精度0.1g;带有快慢速切换的高精度提拉机构,最慢提拉速度可保证0.03mm/h;配有中/高频切换复合感应电源,以满足不同材料融化工艺,全不锈钢水冷腔体,搭配分子泵,最高真空度可达5.0X10-3Pa,此款晶体生长炉已经被证实可以制备各种氧化物单晶、金属单晶以及各种CZ法适用的体系材料,如蓝宝石、 GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge,Cu等。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
名称型号

·2100℃上称重CZ晶体生长炉  SKJ-50CZ


特点

·采用高精度上称重模式CZ晶体生长

·配有中频/高频电源,可以真空感应熔炼和磁悬浮真空熔炼炉两用,

·真空度最高5.0*10-3pa

·配有自动控制和预设工艺的软件系统

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基本参数

·电源电压:三相 AC380 50/60Hz

·总功率:80KW

·最高熔炼温度:2100℃

·中频电源功率:35KVA,电源频率:1-20KHZ, 输出电流:10-70A 输出电压:70-550V

·高频电源功率:30KVA,电源频率:20-200KHZ,输出电流:7-70A 

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真空腔体

·采用SS304不锈钢腔体双层水冷腔体,确保设备工作室表面温度≤70℃

·腔体尺寸:Ф500*700mmH

·腔门上有一个80*300mm的方形观察窗口,方便晶体生长过程中实时观察样品的熔化和生长情况

·腔体上部安装了一个量程为-0.1-0.5MPa的机械压力表用于观察腔室内压力情况

·预留G1/4进气口,并通过一个不锈钢针阀控制进气的通断

·预留G1/4出气口,并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断

·安装了一个安全泄压阀,当腔室中压力大于一定值时将自动泄压,确保腔体的安全

·装有摄像头,用于摄录晶体生长过程

·装有红外测温仪,用于测量坩埚内物料温度


提拉机构

·采用伺服电机+谐波减速器来提拉籽晶杆

·采用高精度直线模组可以防止晶体生长提拉过程中卡顿

·体移动有慢速提拉和快速移动两种模式

·提拉行程:200mm

·提拉速度:0.03mm/hr--30mm/hr(可调,精度+/-1um)

·籽晶杆旋转速度:1-60 rpm

·可根据客户要求来定制炉体移动速度范围

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上称重系统

·设备标配一套上称重系统,可以精确的控制晶体生长过程中的工艺参数。

·秤量程:5KG

·称精度:0.1g

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控制系统

·整个电路控制系统在工控机上面实现操作控制,采用国际通用的 labview 软件进行控制,可以实现以下功能:

·生长斜率及控制参数设定;

·控制晶升,动态可调

·控制晶转,可设定多段速自动执行

·检测晶体实时重量并反馈至欧陆表组成闭环控制

·腔体真空和压力检测

·报警监测,晶升晶转中频气压及称量程等上限报警

·实时数据曲线,晶体生长图例模拟

·数据记录,自动存储运行数据

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坩埚系统

·坩埚组件可以选配:铱坩埚,钨坩埚,BN坩埚,刚玉坩埚,Ta坩埚,石墨等

·坩埚尺寸:外径100mm,壁厚3mm,高80mm,坩埚外部采用石英砂作为保温材料,最外层通过一个石英管进行固定。(注:坩埚尺寸可以依据要求定制)

·此单晶炉常规可生长晶体尺寸为≤Ф2”*高度100mm

(如需要大尺寸单晶生长,可联系我司销售)

·注:晶体生长尺寸不仅和提拉行程有关系,还和温度、坩埚大小、保温组件,线圈大小等因素相关,

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UPS电源

·系统配置一套 UPS 电源,用于紧急断电情况下,对整个控制系统进行不间断供电

• 额定功率:5 KVA

• 输入电源电压:AC 220V

• 输入频率:40-70HZ

• 输出电压:AC 220V

• 输出频率:50/60 HZ

• 功率因数:99.9%(满载)

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红外测温系统

·测温范围:100℃—3000℃

·测温精度:±1% FS

·重复精度:±0.5% FS

·距离系数: 400:1

·响应时间(95%): ≤50 ms

·发射率:0.10~1.00 可调 步长:0.01

·模拟输出:4---20mA

·工作电压:24VDC ± 20%

·目视瞄准,可见光斑指示


水冷系统

·系统配置两套水冷设备,一套给感应电源和腔体水冷,一套给磁悬浮熔炼坩埚水冷。

·感应电源和腔体水冷设备技术参数:

·工作电流:8.4-34.6A

·制冷量:49474Btu/h

·最大流量:117L/min

·水箱容量:75L

磁悬浮熔炼坩埚水冷设备技术参数:

·工作电流:2.3-13A

·制冷量:17510Btu/h

·水箱容量:15L

·出入水口: 4 分内牙接口

·最大流量:70L/min

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真空系统

机械泵参数

·型号:VRD-48

·抽气口接口尺寸:KF40

·抽气速率:(48m3/h)13.3L/S

·电机功率:1500 W

·极限压强4*10-2 Pa

分子泵参数

·抽气速率:700L/s

·极限压强:6×10-6 Pa

·气动时间≤9min

·额定转速:3600rpm/min

冷却方式

·抽气口接口尺寸:CF160


产品尺寸和重量

·炉体尺寸长宽高:1250*1150*2700mm

·电气柜尺寸长宽高:565*800*1740mm

·中频电源控制柜尺寸:700*400*835mm

·高频电源+中频电源本体尺寸长宽高:1320*820835mm

·UPS电源尺寸长宽高:780*450*600

·重量:1.5吨

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认证

·通过CE认证 

·若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

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质保

·质保一年,终生维护(不包括,炉膛和加热元件)


操作展示视频

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        展示视频                    操作视频

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