产品特点 | ·500 ~ 10000 RPM 旋转速度(程序控制) ·PTFE腔体,最高加热温度200℃,可对旋涂样品进行干燥 ·适用基片尺寸5mm-130mm ·配有超声雾化头,可是旋涂液体雾化 ·加热型注射泵,可液体加热后再旋涂 ·上罩顶部有一个进气口,可在旋涂时通入气体 |
注液器 | ·3种液体注射方式: ·超声喷头材质为钛合金,配有电源控制器(图1) ·一个是圆锥型-提供窄的雾化喷束~直径2cm ·一个蘑菇头型-提供宽的雾化喷束~4cm ·加热型注射泵,最高温度120℃(图2) ·一个20ml塑料注射器 图1 图2 图3 |
涂布腔体 | ·PTFE 腔体具有抗腐蚀性 ·腔体尺寸: 直径150 mm ·最高加热温度: 200°C (<10分钟) ·一系列PTFE真空吸盘(Φ40mm和Φ10mm) |
真空泵 | ·配有一台抽速为120L/min的无油真空泵,和直径Φ8mm的真空管 |
程序控制 | ·可储存12条运行程序,每套程序可设置6段步骤 ·转速:500 rpm - 10000 rpm (程序设定) ·每个步骤最长持续时间60s ·加速度:100 - 2000 rpm/sec (可调) ·精度:< 5% |
输入电源 | ·电压:AC 220V ·总功率:1000 W ·旋转电机:24VDC 高速电机 |
进气口 | ·一个直径为Φ6mm进气口,在PTFE涂布腔顶部,客户通入气体,可在流动气氛环境下涂布样品 |
可选 | ·紫外(UV)灯,365nm波长,可用于旋涂材料固化和聚合 |
产品尺寸 | ·450mm D×280mm W ×340mm H |
质保 | ·一年质保期,终身维护 |
应用注意事项 | ·设备运转必须放在通风柜中,排除废气(图1) ·薄膜的质量根据浆料粘度,转速和喷雾等参数,需要用户自己探索比较好的工艺 ·不要用任何液体过度冲洗真空卡盘,否则液体会漏入到电机,损坏设备。可以用无纺布擦拭清理设备。 ·为了进一步优化涂布质量,可用等离子体清洗极片后再涂布,可在本公司选购等离子清洗机或等离子枪(图2&3) 图1 图2 图3 |