| 设备名称型号 | ·1700℃立式CVD系统(带液体汽化，防腐型法兰和阀门，可用于SiC薄膜沉积) |
| 高温炉参数 | ·额定功率：7KW ·额定电压：AC220V 50/60HZ ·工作温度：1600℃ ·最高温度：1700℃（≤30min） ·建议升温速率： 10℃/min (≤1400℃) 5℃/min ( 1400℃-1600℃) 2℃/min ( >1600℃) ·加热元件：硅钼棒 ·热电偶：B型 ·加热区长度：400mm ·控温精度：±1℃ ·炉管尺寸：φ60*1000mm（陶瓷管） 温控系统： ·包含一款858型温度控制器；PID自动控温系统 ·智能化50段可编程控制 ·内置过热保护和热电偶故障报警 ·控温精度：±1℃ ·默认DB9 PC通信连接端口 ·可选购电脑温度控制软件(用于858系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据 |
| 不锈钢密封系统 | ·一对钛合金水冷法兰安装在炉管两端，采用氟胶O型圈密封。法兰上含有水管接头，通过的水管与水冷设备相连接。 ·上端法兰含有两个316LEP材质的卡套接头作为进气口，分别通过一个316LEP隔膜阀控制进气的通断， 其中一个进气口与气液混合罐的出气口相连接，进气管道为316LEP材质，且包裹了玻璃纤维加热带，加热带最高加热温度200℃； 另外一个进气口与供气系统上的出气口1相连接，进气管道为316LEP材质；安装了一个量程为-0.1-0.15MPa的机械压力表，用于观察炉管压力；
·下端法兰上的一个φ8mm的宝塔嘴接头为出气口，一个316LEP的隔膜阀控制出气的通断。出气端气体需进行收集处理。 一个KF40接口为抽真空接口，通过波纹管与真空泵相连接，安装了一个安全泄压阀，当炉管内压力达到上限压力时，安全阀自动打开排气； 一个KF25接口与过滤桶组件连接。 ·放样：上法兰留有样品吊钩，用于吊挂样品，下法兰也可以预留样品放置平台。
上悬挂法 下装载法 |
| 气液混合加热装置 | ·容量:300ml ·材质：钛合金 ·最大压力：0.15MPa ·最高加热温度：150℃ ·气液混合罐的进气口连接供气系统的出气口2 ·进出气截止阀为316LEP材质的隔膜阀，进出气管道为316LEP材质不锈钢管 ·气液混合罐加热装置采用 PID 方式调节温度，可设置 28 段升温程序，控温精度+/-1ºC
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| 供气系统 | ·三个质量流量控制器精准控制气体流量，量程：1-1000SCCM ·其中第二路的气体流量计为CS200D ·一路和三路气体进入混气罐内混合后从供气系统的出气口1+3出气，出气口1+3通过不锈钢气管与法兰上的进气口2相连接 ·第二路气体通过流量计后从供气系统的出气口2单独出气，通过四氟管与气液混合罐的进气口相连接
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| 气体探测装置 （选配） | ·供气系统上含有两个气体探测器，一个为氢气探测器，一个为氯化氢气体探测器 ·气体探测报警器设置有两极报警，氢气探测器第一级的报警点为50ppm（氯化氢第一级的报警点为1.5ppm） 一旦探测到的气体的浓度达到此值时，探测器报警器将发出峰鸣报警声，提醒客户检查漏气点。 氢气探测器第二级的报警点为100ppm（氯化氢第一级的报警点为3ppm），一旦探测到气体溶度达到此值时，系统将自动关闭气体的进气阀。
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| 过滤桶组件 | ·下法兰的KF25接口通过波纹管过滤器连接，两个过滤器之间通过波纹管串联在一起。 过滤器尺寸：φ200*300mm，过滤桶内装有过滤介质（过滤介质客户自备），右侧过滤桶的另一个KF25接口与收集装置连接（收集装置客户自备）
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| 真空系统（选配） | ·型号：VRD-16 ·抽气速率：4.4L/S ·电机功率：550W ·极限压强：4×10-1Pa（不带负载） ·实际压强：≤2 Pa（带上炉管和密封法兰，冷态下机械泵抽20分钟） ·为了得到更高的真空度，可以选购我公司的其他高真空系统
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| 水冷设备（选配） | ·型号：CW-5000 ·压缩机功率：0.3KW ·水流速率：16L/min ·水箱容量：6L ·温度控制：5-30℃ |
| 设备外形尺寸 | ·炉子主体：1180mm（L）*800mm（W）*2200mm（H） ·气路系统：600mm（L）*800mm（W）*970mm（H）
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| 重量 | ·约330KG |
| 质保 | ·一年质保期，终生维护 ·特别提示： 1、耗材部分如加热元件、炉管、样品坩埚等不包含在内 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
使用注意事项 | · 炉管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）； · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全， 建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数， 若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 · 气体的流量应＜200SCCM（200ml/min） · 由于氧化铝管制作工艺的原因，炉管在烧结过程中会存在断管的风险，这是无法完全避免的，请客户知晓 |
使用注意事项 | · 炉管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）； · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa， 建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数， 若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 · 气体的流量应＜200SCCM（200ml/min） · 由于氧化铝管制作工艺的原因，炉管在烧结过程中会存在断管的风险，这是无法完全避免的，请客户知晓 |
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皖公网安备 34012302000974号
