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AlN晶体
- 产品概述:
- AlN单晶衬底是一种具有特殊性能的宽禁带半导体材料
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
产品名称
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AlN晶体 |
技术参数
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晶体结构: | 六方晶系 | 晶格常数: | a=3.112Å; C=4.982Å | 密度: | 3.23g/cm3 | 热导率: | 285W/mk | 可用区域: | > 80% | EPD: | <1E5 cm-2 | 吸收系数: | <80 cm-1 |
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产品规格
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常规晶向: | C平面(0001 | 晶向公差: | ±1° | 常规尺寸: | 10x10x0.45mm±50μm、5x5x0.45mm±50μm | 抛光情况: | 双抛 | 抛光面粗糙度: | Al面:CMP抛光(RMS<0.8nm) N面:光学抛光(RMS <3nm) |
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摇摆曲线图
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