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900℃带3路浮子混气RTP管式炉
型号:
RTP-1000-LV3C
产品概述:
RTP1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵(真空度达 10-3 torr )。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达 3" )退火而设计。 这款设备是采用 9KW的红外灯加热,最快升温速度是 100oC/秒. 30 段精确温度控制,精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。
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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
关于RTP 炉子
  • 炉体结构:  双层Al2O3纤维钢构,无需水冷或风冷,

  • 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

  • 加热元件:  8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm)

  • 加热区:    4"X12" length ( +/-5oC 

  • 石英管:    4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

  • 真空法兰:  不锈钢制作,带有水冷接口和针阀,双层高温”O“型圈密封。长时间在 > 900o条件下运行必须采用水冷

  • 循环水流量: 0.5 m/hr

  • 温控仪:  通过可控硅(SCR)   PID 自动控制  

  • 带自整定功能的30 程序精确控制

  • 具有过热保护和断偶保护功能

  • 控温精度: +/- 0.5oC

  • RS485 接口可与电脑连接

  • 包含软件(要求Window XP/7 系统)

  • 最快升温速度:  室温~800℃: 50 oC/sec 800℃~1000℃ 10oC/sec

  • 工作温度:     最高1100oC

  • 功率:       208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 9 KW Max. (> 60A 保险)

  • 尺寸:       760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)

  • 重量:       45 kg (100 lbs)


结构图

可滑动的石英样品架, 最大可放 3" 基片炉子可以以 100 oC/S升温到1000 oC, 打开上盖可快速降温滑动法兰使得装载样品很容易   控温软件    温控软件的主界面

可选

本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

关于真空泵和气体流量计
  • 3个气体流量计 (量程40-400 cc/min  , 精度4%  FS) 安装在移动架底部,显示每路气体的流量。

  • 高速真空泵2TW-4C-220v (真空度可达f 10-2 torr通过橡胶管与RTP炉子相连.

  • 4个不锈钢针阀(移动架的侧面)分别控制3路进气和一路混合气。

  • 4个压力表(移动架的正面)分别显示每路气体和混气的压力。

  • 尺寸:          600 mm (L) x 600 mm  (W) x 597 mm ( H)

  • 重量:          210 lbs

  • 保修期:       一年质保期(耗材:如炉管,“O"型圈 和红外灯等不在保修范围内)


国家专利

一种快速高温退火炉;

专利编号:ZL-2011-2-0077168.4

尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究


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