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1700℃三温区管式炉
型号:
GSL-1700X-III-F3LV
产品概述:
GSL-1700X-III-F3LV是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统,其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。
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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
炉体结构


最大功率

10KW(需要75A的空气开关 )

电压

AC 380V 50 Hz

加热区
  • 总加热区长度:25" (630 mm)

  • 加热温区1长度:7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热,最高温度可达1400 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

  • 升温速率:10°C/min

  • 加热温区2长度:10" (250 mm)1700°C 通6根硅钼棒加热,最高温度可达1700

  • 最快升温速率:5°C/min

  • 加热温区3长度:7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热,最高温度可达1400

  • 最大升温速率:10°C/min


炉管和法兰尺寸
  • 99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube

  • (标配)( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm L

  • 一对60mm的不锈钢密封法兰,法兰上已安装阀门和仪表

  • 仪器中包括4个氧化铝管堵


温控系统


控温精确度

+/-1°C

低真空系统
  • 采用TRP-12的双旋机械泵,其针对于本公司的管式炉,真空度可达到 10-2 Torr.

  • 一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上,其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式炉上的法兰相连接


防腐型真空计

其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换

三路浮子混气系统
  • 3个浮子流量计(精确度4%FS)安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。

  • 第一路气体流量范围为10-100 cc/min.

  • 第二路气体流量范围为16-160 cc/min.

  • 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.

  • 一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接

  • 移动架上安装有4个不锈钢针阀


尺寸

高温炉:   863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H  inch)

质保期& 质量认证

一年质保期. (不包括炉管加热元件和密封圈 .)

CE certified


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