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加热温度: 300-1200 1250-1500 1600-2000

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加热温区: 单温区双温区三温区多温区感应加热专用

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红外灯管加热

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1100度双温区直空/气氛快速升降温RTP炉(红外灯管加热升温速度:50度/S)
900℃带多通道质子流量计控制系统RTP管式炉
1100度小型真空/气氛快速升降温RTP炉（载物台：4英寸升温速度：50度/S）

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