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七层卷对卷覆膜装置
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1100℃原位可视化双温区HPCVD系统(25mm管径,混合CVD/PVD)
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小型无油电动压机
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1200℃回转炉 (管径127mm,配自动进料, 接收系统)
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1700℃小型快速 加热/冷却下装载炉
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1200℃电动滑轨炉
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1500℃高通量箱式炉
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1200℃炉门一体化箱式炉(27L,炉腔尺寸:300*300*300mm)
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手动切片机(4套模具(12,15,19&20mm),可选10~24mm模具)
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120℃多功能涂布机 (可单片涂布&卷对卷涂布,挤压/刮刀涂布)
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铝酸镁钪(ScMgAlO4)
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双温区回转炉
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滚动球磨机
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辊压机(立式)
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辊压机
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粉末磁控溅射仪
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电动辊压机
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开启式单温区管式炉,带5英寸直径石英管和真空法兰,36英寸加热区
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行星式球磨机
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行星球磨机
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水冷设备
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水冷设备
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手动扣式切片机
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三靶等离子磁控 溅射镀膜仪 (可选直流射频电源)